一种新颖的三维零位标记

提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只能进行一维或二维平面定位而不能实现在三维坐标系上进行绝对定位的缺点.这种三维零位标记系统简单,可以实现纳米级精度的三维绝对零位.     

扫描探针显微镜漂移的定量测量方法

对扫描探针显微镜(SPM)仪器漂移的定量测量的几种方法进行探讨,提出应用二维零位标记进行漂移测量.分析比较使用普通样品、周期二维光栅、二维零位标记和原子光栅在测定仪器漂移中的优缺点.结果表明:应用二维零位标记的测量技术对探针与样品形貌耦合引起的图像误差不敏感,漂移测量范围不受光栅单元尺寸影响.该方法优于采用普通样品和规则周期的二维光栅样品的方法,而应用原子光栅可以预计达到亚原子量级的超高精度的SPM漂移测量.     

绝对零位光栅——一种新型测量系统的检测元件

本文在普通增量式光栅测量系统工作原理的基础上,分析了绝对零位光栅测量系统的特点及二者之间的区别。文中重点论述了: 1.绝对零位光栅尺的结构特点和工作原理。 2.零位光栅线纹编码的基本要求。设计零位光栅时,确定各主要参数的原则。 3.绝对零位光栅尺的工艺分析。文中提出了评定绝对零位光栅尺质量的主要指标,同时指出了动态光刻绝对零位光栅尺所必需解决的一些特殊问题。 最后,对主要技术指标进行测试的结果证明本成果达到了预定的设计要求。     

基于平面光栅的二维移动测试方法研究

二维微动平台往往是装备或实验技术中不可或缺的一种常见装置,而标准化的移动平台往往精度有限,难以满足某些高端应用场合.本文采用平面光栅对二维移动平台进行测试,在平台的移动分辨力固定的情况下,介绍了平面光栅和二维移动平台相结合时的标定和测试方法,从而提高二维移动平台的移动准确度.实验结果表明,平面光栅的应用可以提高二维移动平台的准确度,所采用的标定方法稳定可靠.     

长光栅位移传感器及测量系统

0 前 言 精密计量长光栅为核心的光栅精密位移传感器是高技术领域中迅速发展的新兴技术。它涉及光学、精密机械、微电子技术、感光化学等多门学科领域中有关理论和应用研究的综合技术。 重庆大学自60年代开始研究长光栅技术以来,于1976年、1981年、1987年多次取得光栅技术的科技成果,已设计研制成功了具有国内外先进水平的制造高精度零位长光栅的成套设备。我校首创动态同步刻划零位光栅的工艺方法,研究成功的高精度绝对零位长光栅及其     

微机械陀螺零位误差的研究

针对微机械陀螺仪零位误差严重影响制导系统的定位精度问题,提出了时间分段的零位补偿方法.该方法将零位校准时间进行分段,在准备时间段采用均值滤波,将静态零偏值一次性基本校除,在工作初始时间段内根据特性建立一阶或高阶补偿模型校零,对准静态零偏值进行校除.经实验验证,该方法使零偏值比校正前降低了90%以上.为进一步提高补偿精度,提出了应用传递对准这一零位补偿方法,即结合载体高精度方位信号校正微型陀螺仪测量组件系统初始零位值,有效地提高了校零的时效性.仿真实验表明:传递对准最佳起始时刻在陀螺仪稳定工作后10~30 ms后,主、子系统传递对准时间长度可在几百毫秒内,零位误差在载体抖动频率范围内可以被限定在0.01(°)/s以下,主、子系统同步时差所引起的误差项呈毫秒级周期性变化.     

码分多址系统中智能天线的实现形式

码分多址技术逐渐成为新一代通信系统的主流多址技术，如何在码分多址系统中引入空域处理以改善系统性能是当前智能天线技术研究的重点之一.考虑到无线信道的时空二维结构特征，一种合理的实现方式是采用时空处理方法，将波束形成技术与时域分集技术相结合；另一种更有效的方法是在接收端采用时空二维联合处理，对无线信道进行时空二维均衡.     

基于二维傅立叶变换轮廓法的织物表面形态测量研究

提出一种基于交叉光轴投影光栅系统和非移频的二维傅立叶变换轮廓测量方法,结合数字加权滤波和可靠度排序的解调技术,获取织物表面变形后的三维轮廓数据,并给出了几种织物面形测量的实例。     

压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

泰伯效应光学照明阵列

目的在于求解二维位相光栅泰伯效应产生的二维照明阵列，先用一种解析方法获得了一维照明阵列之解，然后提出一种二维位相光栅的基本结构，利用一维阵列的结果，求得了六类二维阵列，发现一维阵列的一些无用的中间结果，对形成二维阵列十分必要，这六类二维阵列构成三个共轭对，各自满足光栅衍射的共轭条件，从而验证了解的正确性，每一类阵列又形成一阵系列，表现出较一维阵列丰富得多的结果，给人们设计二维照明阵列更大的选择自由     

基于深紫外激光器的大面积干涉光刻装置研究

搭建了基于266 nm波长深紫外光源的干涉光刻装置，使用平顶光整形器将高斯光整形成平顶光束，在硅基底上制备出面积为8.9 mm×25.4 mm、周期为407 nm的一维光栅结构图形和周期为860 nm的二维孔洞结构。使用扫描电子显微镜（SEM）测量了平顶光产生的一维干涉结构的线宽、周期等参数，并与高斯光产生的一维干涉结构参数进行对比。实验结果表明，加入了平顶光整形器的干涉光刻装置产生的周期性光栅结构图形均匀性提升了21.36％。     

可见光波段亚波长防伪光栅的实验研究

研究可见光波段亚波长防伪光栅的制做.给出了用2θ夹角一次光刻、2θ夹角摆动δ角两次光刻和2θ夹角旋转β角两次光刻等干涉光刻工艺设计和构建可见光波段亚波长光栅微结构的基本原理.优化设计的干板表面曝光量分布函数可用于构建特定面形分布的光栅微结构.制作了可见光波段的1维和2维亚波长光栅微结构,给出了其SEM和AFM实验数据和理论分析图形,检验了微结构的彩色防伪光变效果.实验结果表明:该干涉光刻工艺能够构建出表面光滑、深度较大的复杂光栅微结构,并能展现出一定的彩色光变效果.     

满族典籍平行语料库对齐方法与评价——以《尼山萨满》为例

以《尼山萨满》为例,利用语料库的技术手段保护和传承少数民族文化典籍。构建了一个满族典籍的平行语料库系统原型,重点研究了该平行语料库的语料对齐方法,分别研究了两种段落对齐方法和三种句子对齐方法,并对各个方法进行了性能评价,最终选出最适合该平行语料库的对齐方法。测试结果表明,最终选取的对齐方法满足构建满族典籍平行语料库的需求,从而为其他同类型的少数民族语料库构建提供更多的参考。     

新型航空集群编队飞行空间对准控制方法

航空集群编队飞行是实现航空集群能力涌现的必要条件。对于飞行器较多的航空集群编队,若采用传统长僚机跟随方式,当僚机数量较多时,一旦僚机出现位置偏差,则容易与周边僚机发生碰撞,存在极大的安全隐患。为此,提出一种航空集群大编队飞行空间对准控制方法,通过分层式对准方法和基于距离的基准机选择算法,构建航空集群编队两级组织架构,并采用一致性控制协议对集群编队飞行进行了仿真验证,实现了航空集群大编队飞行整体队形严整和稳定。     

R-T-S平滑算法在捷联惯性异航系统初始对准精度事后评估中的应用

捷联惯性导航系统(SINS)通常采用Kalman滤波实现初始对准．由于R-T-S最优固定区间平滑算法的精度比Kalman滤波高，采用R-T-S最优平滑算法通过事后处理SINS对准数据来计算SINS的失准角，作为参考失准角，对SINS初始对准的精度进行事后评估．以船用SINS为例进行了仿真．结果表明，R-T-S最优平滑算法的精度比Kalman滤波精度高，从而说明利用R-T-S平滑算法对SINS初始对准精度进行事后评估是可行的．     

求解MSA问题的新型遗传算法

为了克服传统遗传算法求解MSA问题速度慢的缺点,提出了一种新型自适应遗传算法,不使用交叉算子,只使用变异和选择算子,提出了在算法初始化时引入种子的策略,用星比对算法生成一个种子,保证了解的质量,使用灾变算子来确保算法的搜索能力,该算法模拟了自然界进化的周期性,较好地解决了群体多样性和收敛深度的矛盾。     

无缝钢管直线度视觉准直在线实时测量系统

利用视觉准直技术研制一套无缝钢管直线度在线实时涮联直线度视觉准直测量的数学模型;根据实验装置的精度实验估计测量系统的测量分辨率与精度,证明了该测量系统的可行性,该测量 仅可在线实时测量直线误差,还可检测同轴度等几保参数的加工误差与安装误差。     

一种抗基座扰动的捷联惯导系统初始对准方法

将自抗扰控制技术应用于捷联惯导系统的初始对准中,提出了一种抗基座扰动的初始对准新方法. 建立了系统的误差模型,深入研究了该对准方法的精度和速度. 计算机仿真和实际系统试验结果均表明,与传统的Kalman滤波精对准方法相比,该方法对扰动具有很好的跟踪作用,是一种应用在捷联惯导系统中的理想对准方案.     

基于高速公路线形综合指标的安全评价模型

为全面地研究公路线形指标与道路安全的关系,以曲率、曲率变化率、曲线转角、纵坡度、车道宽度、车道数、左右路肩宽度等设计指标为依据在国内首次提出了公路线形综合指标的概念.在此基础上构建了公路线形综合指标评价模型,评价模型为公路线形的量化分析提供了理论评价方法.通过回归得到事故率与线形综合指标累计值的关系,回归结果证明公路线形综合指标可以作为公路线形质量评价和道路安全评价的评价指标,并且综合指标累计值与事故率具有较好的相关性,得到了事故率与综合指标累计值的关系模型.并根据算例制定了安全性评价标准.     

测绘仪器对中器校正新方法

提出一种新的对中器校正方法,利用仪器本身的几何关系,测设出对中点的位置,采用强制校正对中方法,校正对中器.通过分析计算,证明了本校正方法优于传统方法.