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为了对微米尺度物体进行操作,利用显微镜和三维位移台制作了一种微操作器.该微操作器是一种用两根单根碳纤维为两臂的微镊,使用静电力驱动,能实现对30~200μm尺度的物体的夹持.通过闭合实验、夹持实验及微镊闭合过程的理论分析,证明该方法对设备要求低、成本低. 相似文献
2.
在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片对准技术,应用于光刻机中可获得优于20 nm的定位对准精度. 相似文献
3.
提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只能进行一维或二维平面定位而不能实现在三维坐标系上进行绝对定位的缺点.这种三维零位标记系统简单,可以实现纳米级精度的三维绝对零位. 相似文献
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