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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 609 毫秒
1.
本文研究了用氦和氢稀释硅烷GD淀积a-Si:H膜的光电性质。测量了两种薄膜的光电导、光吸收系数、红外吸收谱和光致发光谱。实验表明用氦稀释的a-Si:H膜具有更高的光电导、更大的长波可见光吸收系数和较低的缺陷态密度,a-Si:H(He)膜是一种可供选择的廉价太阳电池的基本材料。  相似文献   

2.
采用在等离子体增强化学气相沉积(PFCVD)系统中沉积a-Si:H和原位等离子体逐层氧化的方法制备a-Si:H/SO2多层膜.用快速热退火对a-Si:H/SiO2多层膜进行处理,制备nc—Si/SiO2多层膜,研究了这种方法对a-Si:H/SiO2多层膜发光特性的影响.研究发现对a-Si:H/SiO2多层膜作快速热退火处理,可获得位于绿光和红光两个波段的发光峰.研究了不同退火条件下发光峰的变化.通过对样品的TEM、Raman散射谱和红外吸收谱的分析,探讨了a-Si:H/SiO2多层膜在不同退火温度下的光致发光机理.  相似文献   

3.
a-St:H FET特性的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文从理论和实验两方面对a-Si:H FET的特性进行分析研究。给出了一种关于a-Si:H FET新的理论分析方法,假设a-Si:H能隙中深局域态密度和带尾局域态密度均为指数分布,并且考虑到漏源电压对沟道表面势的影响,采用简便的方法和合理的近似推导出了较全面反映a-Si:H FET特性的解析表达式。同时在实验中,研制了用SiO_2或Si_3N_4作为栅绝缘层的a-Si:H FET,测量得到了不同绝缘层和不同沟道长度的各a-Si:H FET的直流特性。当栅压变化20V时,漏源电流可以变化10~4。最后,对理论计算及实验结果进行了分析和比较。  相似文献   

4.
本文研究了以SiH_4为气源,常压下化学气相淀积(APCVD)非晶态硅薄膜的光电特性及工艺参数的影响。通过与辉光放电a-Si:H膜的光电特性的比较,分析了APCVD a-Si膜的带隙结构和导电机理。  相似文献   

5.
阐述了分形概念及其在非晶硅薄膜微结构分析中的应用.利用透射电子显微镜(TEM)观测,在不同退火温度下,采用不同于常规的原位动态观测技术,获得a-Si:H薄膜中微结构形貌像.通过两种方法计算了分形结构的分维.结果表明,分形结构与a-Si:H薄膜的性质密切相关.对a-Si:H薄膜中的分形结构与晶化之间的关系进行了讨论。  相似文献   

6.
从PECVD法制取的n~+与n/n~+两种结构的a-Si:H试样,采用低温退火固相晶化工艺,得到了满足器件质量要求的大晶粒多晶硅膜。测试结果证实:在N_2气氛下,经6—10h的600℃(或800℃)温度的退火后,两种a-Si:H膜均已明显地晶化.测得了晶化膜的粒径>lμm,暗电导率、光电导率均比退火前增加了3个数量级,迁移率则增加了10—80倍。  相似文献   

7.
本文报道用电子显微镜观察、X-射线衍射和红外吸收谱等方法研究 a-Si:H 薄膜的毫微秒(ns)脉冲激光退火的结果。从红外吸收谱发现了退火后薄膜中H相关振动吸收的增强现象;通过电子显微镜观察到了厚度≥3μm 的薄膜退火后具有多层结构。讨论了 H 在产生以上现象的机理中的作用。  相似文献   

8.
用弹性反冲法对氢化非晶硅(a-Si:H)作了氢剖析.测量了(本征)I-a-Si:H单层膜及PIN-a-Si:H多层膜.结果表明,在~1000A—~1500(?)表面层中,氢含量从外到内急剧下降,而在内部维持一稳定值,并且随着衬底温度增加,膜中氢含量线性减少.氢含量的总误差小于10%,探测深度为~5000.  相似文献   

9.
非晶半导体超晶格薄膜的光声谱研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜进行了光声谱研究.在光声谱中可以观察到由于量子尺寸效应所引起的吸收边“兰移”现象.将超晶格系列样品的光声谱与它们的光吸收谱以及本征硅的光声谱作了比较,研究表明,在a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格中光生载流子(电子和空穴)的非辐射复合比本征硅要大得多.光生载流子在带间的跃迁主要属于辐射跃迁,在带尾间的跃迁,主要属于非辐射跃迁.  相似文献   

10.
本文研究了高频辉光放电等离子体分解SiH_4+H_2+H_2O混合气体淀积氢化非晶硅氧合金(a-Si:O:H)膜的淀积率及折射率,并就其放电机理对淀积速率作了初步的说明;对折射率的变化采用两种不同的物理模型进行了分析计算.  相似文献   

11.
现行力学教材和普通物理教材大都把动量守恒定律和动量矩守恒定律视为质点组动量定理和动量矩定理的推论,忽视了守恒星的本质意义,是不正确的.本文绘出正确表述.  相似文献   

12.
研究了齐次线性微分方程f^(k) A(z)f=0的解的零点收敛指数与A(z)的级的关系,表明方程解的零点收敛指数在一定条件下仅依赖于A(z)的性质。  相似文献   

13.
讨论二阶曲线方程在射影平面上的化简问题,并给出化简的方法.  相似文献   

14.
由于土壤盐渍化严重影响着农业生产的发展,提高作物的耐盐力显得更为重要。本文论述了主要作物的耐盐特性及提高作物耐盐力的几条途径。  相似文献   

15.
本文是“天津市农业科技进步对策研究”课题的主要子课题的研究成果,我们研究建立了天津市农业科技进步的数学模型、确立了衡量天津市农业科技进步作用的指标体系、并测算了天津市1972-1979年及1980-1988年两个阶段的农业的科技进步速度及对农业总产值增长的贡献等指标,该课题的研究成果填补了天津市关于这方面研究的空白,为天津市在制定农业发展规划时提供了依据。  相似文献   

16.
物理学美的内涵   总被引:1,自引:0,他引:1  
用美学观点分析了物理学中广泛存在的几种主要的美学形式:物理现象美、实验美、理论美、理论效用美.  相似文献   

17.
社会主义法治理念的背景及内涵分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
社会主义法治理念的提出有其深刻的历史和现实背景。从总体来看,其概念包括理念、法治、法治理念、社会主义法治理念四个层面;从具体来看,其内涵包括依法治国、执法为民、公平正义、服务大局、党的领导等五个内涵。这五个内涵的视角、地位和功能不同,但他们都以社会主义法治为主线,以"理念"为经,以"社会主义法治"为纬,相互协调,和谐共生。  相似文献   

18.
赝功能原理     
主要讨论赝功能原理的意义;重点讨论赝功的意义;对“赝功不是真实功”的常论,提出了新的观点,并做了分析探讨。  相似文献   

19.
债权人撤销权是我国民法中保护债权人利益的一项重要制度,深刻理解债权人撤销权的概念对于债权人准确适用债权人撤销权制度具有重要意义。通过对债权人撤销权的性质、特征及相关概念的比较对债权人撤销权的概念加以阐述,以期债权人能利用此制度更好地保护自身利益。  相似文献   

20.
谈判的一般原理可以应用到两种具体的谈判过程,即费率听证和外部性听证.费率听证会是收集对公用事业服务的市场需求、成本和技术的信息机制.费率听证强调两个重要的制度安排.一是费率制定过程涉及有关当事人之间的敌对互动关系;二是费率管制的次优程序.对外部性的管制通常包括建立和实施总量标准.总量标准的实施,对收入分配和资源的有效配置都可能产生重大的影响.因此,总量标准的建立是讨价还价的重要领域.  相似文献   

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