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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
探讨了用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在Si(100)衬底上加偏压电场和不加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为.并经用原子力显微镜(AFM)分析,偏压电场对金刚石成核有促进作用.文章也分析了偏压电场所以能促进金刚石成核的机制.  相似文献   

2.
直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用实验室自行设计了直接耦合式微波等离子体化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜装置,并在石英管反应腔加上磁镜场来更好的约束等离子体,使等离子体球成为"碟盘"状,使沉积面积大、性能稳定、减少在石英管壁和观察窗的沉积,从而有效的提高电离的活性基团利用率,沉积出高质量的(类)金刚石膜.  相似文献   

3.
综述CVD金刚石膜沉积过程中反应器内气相化学的理论研究进展,阐述不同条件下反应器内的气相化学反应模型、反应机理及各种数值仿真方法,总结这些气相反应的选取及所对应的动力学机理。研究结果表明:CVD金刚石膜反应器内的气相化学是一个十分复杂的过程,与双碳组元相比,单碳组元对膜沉积的贡献较大,在组元C2H2,C2,CH3,C和CH中,决定膜生长的组元由具体操作条件而定。对CVD金刚石膜反应器内气相化学的研究结果不但可以为探讨膜生长机理的表面化学提供准确输入,还可为高效、优质膜的获得提供理论依据。  相似文献   

4.
采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4/H2,CO/H2和(CH4+CO)/H2气体体系下合成了金刚石薄膜.结果表明,所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质,(CH4+CO)/H2体系合成的金刚石薄膜具有较高的生长速率和(100)晶面定向生长的特性.  相似文献   

5.
在已有的30kW金刚石膜设备基础上,研制出了直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备。这套设备用直径为200mm的喷嘴能够沉积出直径为190mm均匀度误差小于15%的金刚石膜。  相似文献   

6.
建立了快速沉积高品质金刚石膜的热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积新方法. 相对于常规冷阴极辉光放电而言,热阴极辉光放电是一种新型放电形式,具有许多新的特性,其中重要一点是具有较高的放电电流(6.0~10.0 A). 较高的放电电流既是热阴极辉光放电本身的突出特点,同时对于化学气相沉积金刚石膜工艺也产生重要影响. 实验研究了放电电流于金刚石膜沉积速率、表面形貌和热导率的影响,发现由于放电电流影响辉光放电的等离子体区和阳极区,进而对金刚石膜的沉积速率和品质有很大影响. 特别是通过放电电流的提高,可以有效地提高金刚石膜的品质,这对于制备优质金刚石膜产品有重大意义.  相似文献   

7.
本文利用微波电子回旋共振(ECR)等离子体化学气相沉积(CVD)法在较低气压下进行了金刚膜的沉积工艺研究,发现CH4气体的浓度可适当提高至CH4/H2=0.8。所得的Raman谱图证实在该条件下得到的膜比在CH4/H2较小情况下得到的膜含有更多的金刚石相。  相似文献   

8.
介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法:热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。 C V D 金刚石膜的应用。  相似文献   

9.
研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题,研究了表明:用于生长金刚石的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的,能使气体混合均匀;金刚石膜在形核阶段是均匀的;金刚石膜在生长阶段是均匀的,有利于提高成膜几率;沉积后的金刚石膜的质量是均匀的,大面积磁控长通道等离子矩能生长均匀的金刚石膜,可用于金刚石膜的研究和工业生产。  相似文献   

10.
】 介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。CVD金刚石膜的应用。  相似文献   

11.
图集的统一协调,对图集质量有很大影响。本文是作者在编制北京市农业区划地图集的实践基础上,根据地图信息传输论的观点,对农业区划地图集的统一协调的内容及方法进行了探讨。试图总结编制这类图集的统一协调模式,以供读者编图时参考。  相似文献   

12.
研究了国家法的抽象正义观与民间法的情理正义观,认为西方国家法的抽象正义观与东方民间法的情理正义观存在实质的不同,原因在于思维方式、超验与经验传统、政治结构的差别。在现代法治理念下,传统民间法所代表的正义观将向混合正义观转型,西方法治所代表的国家法抽象正义观是其骨架。  相似文献   

13.
许多科学家包括诺贝尔奖获得者李政道教授都预言,真空是未来物理学的一个重要研究对象.十七世纪的伽利略时代人们曾讨论过"真空"是否存在的问题.当时的学术界分成两派,一派以帕斯卡为代表,认为真空存在,另一派以笛卡尔为代表,认为真空不存在,最后实验证明"真空存在派"正确.现代研究表明,真空并非一无所有,这样就产生了一个新的问题"排除了真空物质后的空间",即"真空的真空"是否存在.本文探讨了与"真真空"有关的问题,提出了一些观测实验方法,这些方法可以帮助我们最终解答"真真空"的存在性问题.  相似文献   

14.
给出了一维非自治时滞系统点态退化的一个例子,拓宽了该领域的研究。  相似文献   

15.
在人与自然界的关系的演进过程中,形成了与不同文明时期相适应的人-自观念。从"天人合一"到"人定胜天"再到"和谐共生",这是人-自观念演进的肯定、否定、否定之否定的辩证发展过程,也是一个合乎规律的过程,它们都是时代的产物,都包含着不同程度的合理的因素,我们必须对它们进行具体的辩证的分析。  相似文献   

16.
对于行政许可违法的法律责任问题,人们往往是从行政许可实施违法的角度进行研究,而对于设定违法及其责任追究的探讨却相对薄弱。然而。行政许可设定一旦违法,其对相对人和社会公共利益的损害将会更大,因此,对许可设定的违法及其责任问题进行研究,以避免违法行政行为的发生,促进政府依法行政,不仅必要而且是非常有意义的。  相似文献   

17.
曲面“侧”是一个重要而难以理解的概念,本文对曲面“侧”概念的讲授方法进行了探讨,给出了曲面“侧”概念的“参照物”理解法,通过实践证明,效果良好。  相似文献   

18.
老年人生活空间移动性影响要素研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
 老年人生活空间移动性是老年人在日常生活中能动生活状态的重要表征。在梳理老年人生活空间移动性相关概念、测度方法基础上,分析了物质环境要素和非物质环境要素对老年人生活空间移动性的影响;提炼出有效支持老年人生活空间移动性的中观环境规划、微观环境设计和政策文化扶助层面的策略;指出了老年人生活空间移动性的研究建议和发展方向。  相似文献   

19.
20.
利用对位异构体的对称性由核磁共振氢谱测定了工业十二烷基苯在硝硫混酸中的硝化选择性,发现一硝化产物中对位异构体的比例为75% ̄80%。以月桂酸和苯为原料,经氯化、酰化和还原合成了正十二烷基苯。在同样条件下研究了正十二烷基苯的硝化,由核磁共振氢谱和气相色谱分析,发现一硝化产物中对位异构体的比例仅为60%。根据空间位阻效应,对结果进行了讨论,并与甲苯,乙苯,异丙苯等短链烷基苯的硝化结果进行了比较。  相似文献   

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