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建立了快速沉积高品质金刚石膜的热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积新方法. 相对于常规冷阴极辉光放电而言,热阴极辉光放电是一种新型放电形式,具有许多新的特性,其中重要一点是具有较高的放电电流(6.0~10.0 A). 较高的放电电流既是热阴极辉光放电本身的突出特点,同时对于化学气相沉积金刚石膜工艺也产生重要影响. 实验研究了放电电流于金刚石膜沉积速率、表面形貌和热导率的影响,发现由于放电电流影响辉光放电的等离子体区和阳极区,进而对金刚石膜的沉积速率和品质有很大影响. 特别是通过放电电流的提高,可以有效地提高金刚石膜的品质,这对于制备优质金刚石膜产品有重大意义. 相似文献
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本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。 相似文献
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本文研究了用热灯丝化学气相沉积方法在单晶硅衬底上制备金刚石薄膜时其成核密度与制备条件的关系。结果表明,衬底表面状态、衬底温度、灯丝温度、灯丝与衬底表面间距离等对金刚石成核密度有明显的影响,且表面状态的影响最大。 相似文献
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本文研究了用热解CVD方法合成的金刚石的结晶特性,并与用高温高压法合成的金刚石的结晶特性做了比较。 相似文献
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随着高压技术的迅速发展以及在Raman光谱实验中广泛应用激光技术以来,高压下固体Raman光谱的实验研究得到很大发展,并受到人们的重视。近年来,固体的高压Raman光谱的测量有不少报导。它为晶格动力学的诸过程的研究提供了相当有用的信息。 我们研制了微型金刚石对顶钻压机,并获得了1320 kbar超高压力。在此基础上初步建立了测量高压萤光光谱和高压Raman光谱的实验技术。 相似文献
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在Na2CO3-Na2SiO3溶液中,采用正负不对称交流微弧氧化电源在纯钛(TA2)上制备了多孔TiO2薄膜.利用XRD和SEM分别研究了氧化膜的相组成和微观结构.实验结果表明,在恒定电流密度下,处理时间对膜的厚度、相组成和表面形貌影响很大.随处理时间的增加,膜表面的微孔尺寸明显变大. 相似文献
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