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51.
C_(60)是碳的一种新的结构形式(碳的结构还有石墨型和金刚石型),它具有众多独特的物理化学性质,已显示出广泛的潜在应用前景,如是一种非常好的非线性光学材料,高温润滑剂,掺杂后可成为超导体,利用化学或物理方法可使 C_(60)分子在其球形笼 相似文献
52.
53.
测量了反应溅射 a-Si∶H/a-Ge∶H 超晶格的平行电导和垂直电导,研究了超晶格的结构和输运机理;实验观察到了强场下垂直电导的指数增强效应,得到阱层 a-Ge∶H 的深隙态密度N_g=1.9×10~(18)cm~(-3)·ev~(-1).对实验结果作了初步讨论. 相似文献
54.
介绍了一种新型的MWECR-CVD装置.该装置设计采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,设计了一种新型的矩形耦合波导.应用这一装置使a-Si:H薄膜的沉积速率达到了2 nm/s以上.为了降低薄膜的光致衰退效应,提出了热丝辅助的MWECR-CVD,这一改进可以大大降低薄膜的氢含量,改善薄膜的光照稳定性. 相似文献
55.
56.
57.
氢化非晶硅薄膜红外透射谱与氢含量 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了用氢化非晶硅薄膜红外透射谱的摇摆模和伸缩模计算氢含量的两种方法, 分析了这两种方法在计算薄膜氢含量时引起差别的原因. 理论推导及实验结果表明, 若将SiH2和(SiH2)n含量大小用结构因子F=(I840+I880)/I2000来表示, 则在F值较小的情况下, 薄膜折射率接近3.4或拟合厚度值d=0.71~0.89 μm时, 两种计算方法得到的氢含量很接近. 研究还发现, 制备工艺对薄膜的键结构及组分有很大的影响, 不同的制备方法薄膜中形成的SiH2和(SiH2)n含量不同, F值大的样品均匀性差(表现为这些样品实测厚度值与拟合厚度值有较大的差异); 同时在这种情况下, 两种方法计算得到它们的氢含量值相差较大, 但CAT CVD辅助MWECR CVD制备方法, 能有效地抑制SiH2和(SiH2)n的形成. 相似文献
58.
采用热丝辅助射频等离子体化学气相沉积(CVD)方法在较大面积(≥5cm2)镍衬底上生长立方氮化硼(c-BN)薄膜.所用气体为硼烷、氨气和氢气的混合气体.实验发现,灯丝温度及其分布是影响c-BN薄膜生长的主要因素.X射线衍射(XRD)分析表明,样品中立方相的成分随温度的升高而增加,当温度达到2000℃时,样品中主要为立方相成分,无六方相(h-BN)或其它杂相形成.用扫描电镜(SEM)对样品表面不同位置形貌观察发现,立方相晶粒大小均匀且分布致密.X光电子能谱(XPS)测得样品中B原子与N原子的组分比大约为11.当温度达到2000℃以上时,样品中立方相成分减小,说明在合适的温度下,可制备具有理想化学配比的大面积c-BN薄膜. 相似文献
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60.