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相似文献
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1.
磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用。  相似文献   

2.
磁控溅射法中影响薄膜生长的因素及作用机理研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
磁控溅射法是制备薄膜材料的重要手段,薄膜属性受其制备参数的制约,诸参数相互关联,共同影响薄膜的沉积、成核及生长。本文在简要介绍了磁控溅射制备薄膜的基本原理及基本流程的基础上,讨论了溅射参数影响薄膜属性的基本规律和作用机理,并简述了使用磁控溅射法制备薄膜的注意事项。  相似文献   

3.
闫继超 《科技信息》2009,(22):282-283
磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。  相似文献   

4.
5.
采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,应用原子力显微镜观察了薄膜表面形貌,通过测量薄膜表面水滴直径计算接触角的方法研究了TiO2薄膜的亲水性能,发现磁控溅射制备的TiO2薄膜在紫外灯照射下有明显亲水性.  相似文献   

6.
射频溅射法和电弧离子镀法制备的纳米TiO2薄膜性能比较   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用射频磁控溅射法和电弧离子镀法制备了纳米TiO2薄膜,并利用XRD、UV-VIS、AFM及通过亲水性和光催化实验对两种方法制备的TiO2薄膜进行了对比表征.结果表明,磁控溅射法的薄膜生长速率只有电弧离子镀法的1/30;前者仅需较低的退火温度就能形成完善的锐钛矿结构;虽然两者有相近的紫外吸收边,但是前者有较大的紫外吸收;磁控溅射法制备的TiO2薄膜表面呈现针状晶结构和具有较大的比表面积;在暗室中保存5 h后,磁控溅射法制备的TiO2膜水的接触角恢复到1°,而后者达到20°;对于光催化降解苯酚,前者有较大的降解率.  相似文献   

7.
磁约束原理目前主要应用于热核聚变中,本文介绍了磁约束原理及依据磁约束原理设计的磁控溅射装置,同时利用ANSYS11.0有限元分析软件对磁约束磁控溅射装置的磁场进行模拟计算,计算磁铁数量、厚度及相对磁铁间距对磁场的影响,进而得出靶面磁场强度的分布情况,并将数值模拟数据与实验测得数据做了对比分析.结果表明,实验实测数据与有限元分析数据基本一致,模拟结果为磁约束磁控溅射装置的设计提供了比较准确的数据资料.  相似文献   

8.
介绍了在玻璃衬底上射频磁控溅射SiO2薄膜的工艺技术,给出了薄膜淀积速率,膜内组分与工艺条件特别是溅射气压的关系。实验证明,和其他镀膜技术相比,射频磁控溅射可以在更低的温度下制备致密、均匀、重复性好的SiO2薄膜。  相似文献   

9.
射频磁控溅射二氧化硅薄膜的工艺探讨   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了在玻璃衬底上射频磁控溅射SiO2薄膜的工艺技术,给出了薄膜淀积速率,膜内组分与工艺条件特别是溅射气压的关系。实验证明,和其他镀膜技术相比,射频磁控溅射可以在更低的温度下制备致密、均匀、重复性好的SiO2薄膜。  相似文献   

10.
介绍了氧化锌薄膜的制备方法,主要有物理和化学两种方法。物理方法有:分子束外延法(MBE),脉冲激光溅射沉积法(PLD)以及磁控溅射法;化学方法有:溶液镀膜法和各种化学气相淀积(CVD)。重点讨论了磁控溅射法的优缺点及展望。  相似文献   

11.
本文主要论述基板员偏压与铜基体磁控溅射离子镀铝膜的关系。磁控溅射离子镀 铝膜不是简单的单质外接铝膜,而是铜和铝组成的合金膜。膜的相组成主要是由基板 负偏压所决定的。在一定的实验条件下,每一种铜-铝合金相的出现都有一临界负偏压 与之对应.  相似文献   

12.
梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
用平行光束掠射法(GIXD)测定了磁控溅射TiC(Al基体)膜中的残余应力,比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响。  相似文献   

13.
介绍了天然活性成分生物转化的微生物、特异酶以及其应用.中草药等植物中含有的主要天然活性成分,人体难吸收、活性低.为了得到易吸收、高活性的天然有效成分,筛选了一批新微生物,发现一批新型特异的天然成分转化酶;研究了生物转化制备高活性天然成分单体、异构体混合物组、活性中草药制备.  相似文献   

14.
高校体育是学校体育的最后环节,是联系体育社会化与终身体育的纽带.在以教师为主导和学生为主体的体育教学中,改变旧的教学模式,开设选修课,培养学生的体育兴趣、体育意识,建立终身体育的思想,对实施终身体育具有重要作用.  相似文献   

15.
从研究体育产业消费关系的结构入手,分析了体育产业的供求关系,提出了优先发展非营利性体育产业的观点.  相似文献   

16.
从结构植物学、植物生物化学、分子生物学三个方面对红松和前红松进行了系统的比较研究.结果表明:前红松叶的角质层内表面的胞间凸缘为浅波浪状,缘厚;红松叶的角质层内表面的胞间凸缘为深波浪状,缘窄.过氧化物同工酶电泳结果可见,前红松有8条酶带,红松有7条酶带;前红松的酯酶同工酶电泳有6条酶带,红松的酯酶同工酶电泳有5条酶带.前红松与红松叶绿体基因组中的rbcL基因片段458个核苷酸中有5个不同.  相似文献   

17.
随机级数的a.s.S-可和性与a.s.收敛性   总被引:1,自引:0,他引:1  
通常在随机向量对称性条件下,人们研究随机级数a.s.S-可和性与a.s.收敛性的关系及a.s.S-有界性与a.s.有界性间的联系.对有关a.s.S-可和及a.s.有界的重要引理和定理进行了改进和推广,得到了进一步的结果.  相似文献   

18.
研究了Cd污染胁迫对大蒜和大豆生长状况的影响.研究结果表明:中高浓度Cd对两种农作物根系长度影响差异并不显著且根系长度与土壤中Cd处理浓度均呈明显的负对数相关性,表明大蒜和大豆对Cd均具有较高的抗性.从两种农作物的生长高度和根系的干重生物量对Cd胁迫反应来看,大蒜对Cd污染胁迫的反应比大豆要敏感.大蒜叶片干重及大豆根系鲜重对Cd处理浓度的反应进一步证实了这一结论,这可能与两种植物对Cd的抗性机制有所差异有关.  相似文献   

19.
针对当前高校体育弱势群体学生对上体育课兴趣不高,学习热情难以调动等情况,分析了高校体育弱势群体对体育课兴趣不高的现状与原因,提出了培养这部分学生对体育锻炼兴趣的有效方法与对策.  相似文献   

20.
本文根据教育学、学校体育学及比较学、决策学等有关理论知识,从东西方体育文化的发展入手,采用文献资料综述的研究方法,从宏观角度,对中国现代学校体育思想的构建进行了阐述,旨在挖掘和完善学校体育指导思想的理论体系.  相似文献   

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