用激光干涉仪测量三坐法测量机的动态特性

提出了一种用激光干涉仪测量三坐标测量机动态误差的方法，分析了激光干涉仪的测量原理并分别对扫描测量和触发测量中的动态误差进行了模拟测量，实验结果表明，运动中的加速产生的附加惯性力是产生动态误差的重要因素，由于惯性的原因，扫描测量中的换向时产生的误差大久是同样条件下惯性力造成误差的２倍。     

高精度长光栅动态检测的新方法

根据双频激光干涉测量原理，针对进口设备HP5528激光干涉仪不能进行动态检测的缺点，提出了一种改进HP5528激光干涉仪并实现高精度长光栅动态检测的新方法，论述了长光栅长度误差的检测和长光栅莫尔纹信号质量的检测，其中包括激光信息处理、信号采集、计算机接口和算法。该方法不仅可以检测光栅尺的精度，还可以通过信号分析了解光栅尺制造过程中的误差源对光栅尺制造精度的影响，也可以实现对磁栅、线纹尺等长度计量元件进行高精度动态测量。     

一种新型STM纳米计量仪

阿贝(Ahbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高，故提出了一种新型STM纳米计量仪器，采用3个微型激光干涉仪与STM联用．微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空问位移。与其它STM纳米计量仪器相比，该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器，将扫描分为Z向和X-Y平面扫描两部分，Z向扫描由独立的PZT驱动，X-Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成．这种设计理论上能使Z方向上Ahbe误差完全消除，X-Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半，最大50μm，使Abbe误差减小至可忽略的程度．微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差。     

用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪

介绍了一种用于大尺寸，无长导轨干涉测量系统．该系统由两种干涉仪构成．半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差．文中还就提高定位精度，采用脉冲电流调制方法调制半导激光器作了介绍．实验中，采用１００ｍｍ导轨，测量距离为８００ｍｍ，测量误差为±２μｍ．     

宽自由光谱区平面扫描干涉仪

本文描述了用平面扫描干涉仪测量半导体激光光谱的一种新方法。     

高速扫描三坐标测量机动态误差模型

用三坐标测量机进行高速扫描测量时,由于机体的振动全产生较大的动态误差。本文研究了扫描三坐标机在高速运动中的动态特性。找出了产生动态误差的根源。文中根据过程辩识原理,将三坐标测量机看作线性动力系统,用实验方法建立了动态误差的ＡＲＭＡ模型,并将Ｋａｌｍａｎ滤波器应用于模型之中,消除了测量噪声对参数辨识的影响,提高系统辨识的的精度。最后对一台移动知式三坐标测量机成功地进行了动态误差补偿,减小动态误差６０     

数控机床补偿误差的激光干涉仪识别技术

提出了基于数控机床的空间误差模型,用激光干涉仪测量机床工作空间中的对角线位移误差来识别机床空间误差的方法,解决了机床垂直轴roll误差的测量难题。结果表明所提出的方法测量精度高,缩短了测量时间,减少了对光学器件的需求量。     

激光干涉仪在机床精度检测中的应用

随着数控机床在企业中的广泛使用,采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。不同的机床使用激光干涉仪检测的精度曲线会有所相同,因此就需要对不同的测试结果给予全面而科学地分析。该文主要叙述了激光干涉仪在数控机床位置精度检测中应用和测量过程中误差产生的原因以及消除误差方法。     

提高激光干涉测量系统精度的方法与途径

激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响，因此采用了耦合差动干涉的方法，使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除，提高了干涉仪的分辨率和稳定性．利用以Heydemann修正模型为基础的误差补偿方法，对干涉信号中存在的非正交误差、不等幅误差及直流电平漂移误差进行了修正．根据多点拟合的原理，提出了减小运算量的新算法．设计了以C8051F005单片机为核心的电路补偿模块，实现了以上3种误差的实时补偿．实验结果表明：通过采取以上措施，该干涉测量系统在10mm的测量范围内取得了10～12nm的测量精度．     

新型单频激光干涉技术

论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度，其分辨率为 ０．０２μｍ。     

散列表的一致对半探测方法

给出构造一致对半探测序列的算法 ,利用所构造的序列得到一致对半探测方法 .该方法在假设散列函数是均匀的和处理冲突后产生地址是均匀的条件下 ,和二次、随机探测方法有着相同的平均查找长度 .数值计算的结果表明 ,该方法具有更好的实际效果     

降低Web安全扫描误判率

针对现有Web服务器扫描软件在检测安全漏洞时普遍存在的高误判率问题,讨论了广泛使用的"黑名单"式判断策略的局限性,对现有Web服务器扫描软件的误判问题进行了分类分析,并以Nessus等有代表性的软件为例,从试探攻击方法、识别标志和判断策略等方面给出了正确使用试探性攻击技术来验证安全漏洞的方法,通过实例证明该方法可以大大降低误判率.     

高精度线径动态检测仪的研制

本文提出了一个由氦氖激光器、光学系统、CCD和微机组成的高精度线径动态检测系统。该系统采用激光作为照明光源和CCD高速扫描,通过微机进行测量误差动态修正,具有精度高、成本低、可靠性好、对光学系统要求低等优点。     

矢量码坐标法激光扫描及图像失真分析

针对二维激光扫描图形描述方法，研究了便携式激光扫描仪中关键的矢量码坐标法理论设计原理，并对其在图像软硬件中的具休应用作了论述，还对图像失真进行了定量分析，在实际运用中达到了理想的效果。     

四轴联动加工中心回转轴几何误差参数的辨识及测量

在三轴加工中心的21项几何误差参数测量和辨识基础上,借助激光双频干涉仪、高精度电动测微仪以及Renishaw公司的回转精度测量仪测定综合回转误差,并对其进行了具体分析和辨识,辨识结果表明,本方法解决了以前无法测量和分析辨识回转误差的难题,有一定理论和使用价值。     

重型数控卧式车床定位精度的激光测量与误差补偿

在分析重型车床定位精度的激光测量原理和方法的基础上,采用激光干涉仪对X轴的定位精度和重复定位精度进行了测量,做出X轴的平均偏差特性曲线,获得其线性位移误差数学模型,利用最小二乘法得到X轴定位精度误差补偿模型,并进行了有效补偿.实例结果表明,本文方法有效且可行.     

科氏力对高速旋转汽轮机叶片动态特性的影响

采用解析的方法，建立了高速旋转汽轮机叶片中科氏力和科氏动应力的计算模型。该模型克服了以往在叶片动态特性分析时难以考虑科氏力影响的问题，导出了科氏动应力和非稳态气流动应力比值的计算公式以及科氏力和离心力比值的计算公式，并进行了实例分析．计算结果表明，科氏力对叶片轴向振动和扭转振动的固有频率没有影响，对切向振动的影响很小，可以忽略不计；科氏力所产生的动应力不到非稳态气流动应力的1%。