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用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪
引用本文:王仲,肖海,洪海涛,叶声华.用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),1998,31(6):840-842.
作者姓名:王仲  肖海  洪海涛  叶声华
作者单位:天津大学精密仪器与光电子工程学院
摘    要:介绍了一种用于大尺寸,无长导轨干涉测量系统.该系统由两种干涉仪构成.半导体激光光纤干涉仪用于定位,He-Ne激光干涉仪用于测量光程差.文中还就提高定位精度,采用脉冲电流调制方法调制半导激光器作了介绍.实验中,采用100mm导轨,测量距离为800mm,测量误差为±2μm.

关 键 词:光纤干涉仪  光程倍增  激光干涉仪  大尺寸测量

LASER DIODE OPTICAL FIBER INTERFEROMETER FOR MEASRING LARGE DIMENTION WITHOUT LONG GUIDE
Wang,Zhong,Xiao,Hai,Hong,Haitao,Ye,Shenghua.LASER DIODE OPTICAL FIBER INTERFEROMETER FOR MEASRING LARGE DIMENTION WITHOUT LONG GUIDE[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),1998,31(6):840-842.
Authors:Wang  Zhong  Xiao  Hai  Hong  Haitao  Ye  Shenghua
Abstract:
Keywords:optic  fiber  interferometer  absolute  distance  measurement  optic  path  multiplexing  pulsed  circuct  moducation
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