30MeV电子直线加速器盘荷波导和耦合器的化学清洗抛光工艺研究

本文经实验研究建立了“盘荷波导”和“耦合器”的化学清洗抛光工艺。确定以超声波清洗去油、酸洗、无毒化学抛光为主要工序。研究了该工艺对盘荷波导表面光洁度、机械尺寸精度及对2/3π膜谐振频率的影响,各项参数的变化均在加速器设计要求的误差范围之内。该工艺已在中国科学技术大学30 MeV电子同步辐射加速器研制中应用。也可作为其它高精度无氧铜制件化学清洗抛光的参考。