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30MeV电子直线加速器盘荷波导和耦合器的化学清洗抛光工艺研究
引用本文:赵化侨,徐理阮,王建平,沈连婠.30MeV电子直线加速器盘荷波导和耦合器的化学清洗抛光工艺研究[J].中国科学技术大学学报,1983(2).
作者姓名:赵化侨  徐理阮  王建平  沈连婠
作者单位:中国科学技术大学近代化学系 (赵化侨,徐理阮),中国科学技术大学同步辐射加速器实验室 (王建平),中国科学技术大学精密机械和精密仪器系(沈连婠)
摘    要:本文经实验研究建立了“盘荷波导”和“耦合器”的化学清洗抛光工艺。确定以超声波清洗去油、酸洗、无毒化学抛光为主要工序。研究了该工艺对盘荷波导表面光洁度、机械尺寸精度及对2/3π膜谐振频率的影响,各项参数的变化均在加速器设计要求的误差范围之内。该工艺已在中国科学技术大学30 MeV电子同步辐射加速器研制中应用。也可作为其它高精度无氧铜制件化学清洗抛光的参考。

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