等离子化学气相沉积硬膜技术研究

用等离子体化学气相沉积（ＰＣＶＤ）技术制备了ＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｔｉ（ＣＮ）和（ＴｉＳｉ）Ｎ膜及其组合的多层膜。ＰＣＶＤ具有很好的覆盖性，ＰＣＶＤ－ＴｉＮ具有很好的耐磨、蚀性，膜与基体结合良好，因而用ＰＣＶＤ法在高速钢刀具、模具及轴承上沉积ＴｉＮ可大大提高其使用寿命。ＰＣＶＤ－ＴｉＮ和Ｔｉ（ＣＮ）膜无明显柱状晶，其显微硬度高于ＴｉＮ亦可用于高速钢刀具、模具上提高其使用寿命。ＰＣＶＤ－（ＴｉＳｉ）Ｎ，晶     

辅助加热PCVD—TiN薄膜的制备及影响因素

研究了反应气体对辅助加热ＰＣＶＤ－ＴｉＮ薄膜制备的影响,结果表明,提高反应气体中ＴｉＣｌ４的含量可以提高薄膜的沉积速率,而且对薄膜内的氯含量没有影响。提高反应气体中的Ｖ（Ｈ２）／Ｖ（Ｎ２）可以略低薄膜内的氯含量,在Ｖ（Ｈ２）／Ｖ（Ｎ２）＝２,ＴｉＣｌ４的体积分数为１０％左右时ＴｉＮ薄膜的硬度最高,随着反应气压的升高,沉只速率呈正比上升而显著硬度却下降。     

用XPS研究Ti—15Mo合金在盐酸中钝化膜的组成

应用ＸＰＳ和电化学测量技术研究了Ｔｉ－１５Ｍｏ合金在７０℃４ｍｏｌ／Ｌ ＨＣｌ溶液中，９００ｍＶ，２００ｍＶ和０ｍＶ恒电位阳极极化条件下形成的钝化膜。结果表明，Ｔｉ－１５Ｍｏ合金在７０℃４ｍｏｌ／Ｌ ＨＣｌ溶液中钝化膜很稳定。     

Ti6Al4V—DLC系梯度材料的设计

为了提高钛合金（Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ）基体和类金刚石薄膜（ＤＬＣ）之间的附着强度,采用有限元分析法对ＴｉＡｌ４Ｖ－ＤＬＣ系生物梯度材料进行了热应力缓和设计,对不同参数对热应力分布的影响进行了分析,计算结果表明对Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ－ＤＬＣ系生物梯度材料,最优热应力缓和参数如下：体积分布系数 ｎ＝ １． ８;梯度层层数 Ｎ＝ １０．     

微波ECR等离子体化学汽相沉积金刚石膜的研究

本文利用微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体化学气相沉积（ＣＶＤ）法在较低气压下进行了金刚膜的沉积工艺研究，发现ＣＨ４气体的浓度可适当提高至ＣＨ４／Ｈ２＝０．８。所得的Ｒａｍａｎ谱图证实在该条件下得到的膜比在ＣＨ４／Ｈ２较小情况下得到的膜含有更多的金刚石相。     

钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学

应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，能在较低温度下获得ＴｉＮ，为低温化学气相沉积ＴｉＮ提供了理论依据     

新型抗H2S腐蚀钻管钢30CrMoVTiAl的焊接性能

采用手工电弧焊，闪光对焊，焊接热模拟及焊后抗Ｈ２Ｓ应力腐蚀试验等方法对３０ＣｒＭｏＶＴｉＡｌ的焊接性能进行了研究。研究结果表明，３０ＣｒＭｏＶＴｉＡｌ钢的焊接性能良好，可以满足工艺对其焊接性能的要求。     

含氧和氮的四氯化钛络合物催化双环戊二烯开环移位聚合 …

报道了ＴｉＣｌ４．２「Ｃ６Ｈ８Ｏ」（１）;ＴｉＣｌ４．２「Ｃ８Ｈ１１Ｎ」（２）;ＴｉＣｌ４．２「Ｏ（ＣＨ２）４ＣＨ２」（３）．ＴｉＣｌ４．２「Ｃ６Ｈ７Ｎ」（４）ＴｉＣｌ４．２「Ｃ５Ｈ５Ｎ」（５）;ＴｉＣｌ４．２「Ｃ４Ｈ８９Ｏ２」（６）催化双环戊二烯开环移位聚合反应并对６个影响因素进行了讨论,由此得到优化的反应条件。     

含氧和氮的四氯化钛络合物催化双环戊二烯开环移位聚合反应的研究

报道了ＴｉＣｌ４·２［Ｃ６Ｈ８Ｏ］（１）;ＴｉＣｌ４·２［Ｃ８Ｈ１１Ｎ］（２）;ＴｉＣｌ４·２［Ｏ（ＣＨ２）４ＣＨ２］（３）;ＴｉＣｌ４·２［Ｃ６Ｈ７Ｎ］（４）;ＴｉＣｌ４·２［Ｃ５Ｈ５Ｎ］（５）;ＴｉＣｌ４·２［Ｃ４Ｈ８Ｏ２］（６）催化双环戊二烯开环移位聚合反应并对６个影响因素进行了讨论,由此得到了优化的反应条件。     

用XPS研究Ti－15Mo合金在盐酸中钝化膜的组成

应用ＸＰＳ和电化学测量技术研究了Ｔｉ－１５Ｍｏ合金在７０℃４ｍｏｌ／ＬＨＣｌ溶液中，９００ｍＶ，２００ｍＶ和０ｍＶ恒电位阳极极化条件下形成的钝化膜。结果表明，Ｔｉ－１５Ｍｏ合金在７０℃４ｍｏｌ／ＬＨＣｌ溶液中钝化膜很稳定。在高阳极极化电位下（９００ｍＶ），钝化膜表层中贫Ｍｏ，而在低阳极极化电位下（２２ｍＶ，０ｍＶ），钝化膜表层有Ｍｏ的富集现象。钝化膜内含有较多的电解质阴离子Ｃｌ－，而旦分布很深，推测氯离子可能参加了膜的生成反应。     

PCVD法制取高硅钢的研究

利用等离子体增强化学气相沉积（ＰＣＶＤ）法对低硅钢进行ＳｉＣｌ４涂层处理，然后进行高温扩散，制得高硅钢，使其磁性能大为改善，从而铁损Ｐ１５／５０降低约４５．１％，磁感应强度提高４．５％左右     

动态混合高结合力超厚TiN膜

在新型的ＭＢＭＩ多束混合注入设备中、高真空条件下，在Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基底上采用化学配比态的强流Ｎ＾＋离子束，动态混合真空弧Ｔｉ等离子体束的沉积膜，得到高结合力（Ｌｃ：１００Ｎ）超厚（１０－３０μｍ）的ＴｉＮ膜。     

蓝宝石激光晶体中高纯掺钛材料Ti2O3的研制

以自制高纯ＴｉＯ２和高纯Ｈ２为原料,采用Ｈ２还原法制备高纯Ｔｉ２Ｏ３。研究了还原温度、Ｈ２流量,ＴｉＣｌ４浴温,ＴｉＯ２在恒温区中的位置对还原过程和Ｔｉ２Ｏ３产品质量的影响,摸索出了制备高纯Ｔｉ２Ｏ３的工艺条件,采用本工艺制备的Ｔｉ２Ｏ３,其纯度及批量均达到目前国内领先水平。     

热爆反应原位生成TiC的热力学和动力学探讨

利用Ａｌ－Ｔｉ－Ｃ系热爆反应过程中有关反应的自由能变化和ＤＴＡ曲线，探讨了ＴｉＣ的形成机理。研究结果表明，ＴｉＣ、Ａｌ４Ｃ３和ＴｉＡｌ３都有可能存在于反应过程；     

多弧离子法制备的Ti（C,N）膜微结构随C2H2／N2流量比变…

用多弧离子法在高速钢（Ｗ１８Ｃｒ４Ｖ）基底上沉积了Ｔｉ（Ｎ，Ｃ）薄膜，并运用ＳＥＭ、ＸＲＤ、ＸＰＳ对该膜微观结构随进气流量ｒ＝Ｇ２Ｈ２／Ｎ２变化的情况进行了测试和分析。结果表明薄膜随ｒ增加趋于致密，在ｒ值较小时呈现较强的（１１１）择优取向，随着ｒ值增大，（１１１）是这一取向逐渐变弱，（２２０）取向渐强，薄膜呈现典型耐心立方结构，主要万分为复合相Ｔｉ（ｎ，Ｃ）膜含有少量石墨相成分存在。     

涂层成份及结构的X射线光电子谱分析

以硬质合金作为衬底，分别采用了化学涂层（ＣＶＤ）和物理化学涂层（ＰＣＶＤ）的技术涂复Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）－ＴｉＮ硬质膜，应用Ｘ射线光电子谱分析（ＸＰＳ）技术，研究涂层表面化学成分、元素化学状态、物相组成及其随深度的变化。涂层表面由Ｔｉ，Ｎ，Ｃ，Ｏ和Ｃｏ组成；表面物相包括ＴｉＮ，ＴｉＯ＿ｘ及ＣｏＯ．随着深度的增加，Ｔｉ：Ｎ迅速变为１，而ＴｉＯ＿ｘ和ＣｏＯ含量急剧减少．     

不同介质PCVD涂层对结构钢耐磨性的影响

旨在探索不同介质的ＰＣＶＤ涂层对结构钢表面硬度及耐磨性的影响。实验采用两种不同的金属有机溶液（（Ｃ３Ｈ７Ｏ）４Ｔｉ；（ＣＨ３）６ＳｉＮ）对４２ＣｒＭｏ钢进行表面处理。通过测量显微硬度及耐磨试验，得出以下结果：钛酸丙脂处理，其表面硬度及耐磨性均较好；而氮－硅烷处理，虽表面硬度较高，但耐磨性较差。这两种介质的表面处理都优于常规的离子渗氮     

RF-PCVD法制备锐钛型TiO2超细粉的研究

以ＴｉＣｌ４＋Ｏ２为反应体系,从热力学和动力学的角度出发,讨论了ＲＦ－ＰＣＶＤ法制备ＴｉＯ２超细粉成核过程的温度范围。设计了实验用反应器和冷却器,测量了冷却器中的温度分布及ＴｉＯ２超细粉的晶型、粒径和分布,表明ＴｉＯ２成核长大、晶型转变过程发生在反应器内。制备了平均粒径为３０ｎｍ、用作光催化材料的纯锐钛ＴｉＯ２超细粉。     

蓝宝石激光晶体中高纯掺钛材料Ti_2O_3的研制

以自制高纯ＴｉＯ２和高纯Ｈ２为原料,采用Ｈ２还原法制备高纯Ｔｉ２Ｏ３（纯度＞９９．９９％）．研究了还原温度、Ｈ２流量、ＴｉＣｌ４浴温、ＴｉＯ２在恒温区中的位置对还原过程和Ｔｉ２Ｏ３产品质量的影响,摸索出了制备高纯Ｔｉ２Ｏ３的工艺条件．采用本工艺制备的Ｔｉ２Ｏ３,其纯度及批量均达到目前国内领先水平．     

离子镀（Ti,Al）N的抗氧化性和抗热疲劳性能

对采用多弧镀方法在ＣＨ７５热作模具钢表面沉积的ＴｉＮ与（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜的抗氧化性与抗热疲劳性能进行了研究。