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钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学 总被引：1，自引：0，他引：1
应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，能在较低温度下获得ＴｉＮ，为低温化学气相沉积ＴｉＮ提供了理论依据 相似文献
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胡传胜 《武汉科技大学学报(自然科学版)》1990,(3)
本文通过窑炉的热工计算,对白云石煅烧回转窑用发生炉煤气代替半水煤气作燃料的可行性进行了论证。结果表明,如能保证发生炉煤气入窑温度为30℃,Q=1250kcal/m~3,就可满足预定的熟料生产率和煅烧工艺温度。文中还对工艺条件变化时所出现的各种情况进行了论述。本文提供的数据,可供生产厂选用。 相似文献
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运用热力学对用ＴｉＣｌ３为钛源在低温下化学气相沉积ＴｉＮ的可行性进行了论证，着重介绍了实验研究及实验结果。在所设计的ＴｉＣｌ３生成以及ＴｉＮ形成的实验装置上，通过对ＨＣｌ（ｇ）与ＮＨ３的流量和沉积总压强的调节与控制，在较低的温度（５５０℃）下，在钢基材料上获得了ＴｉＮ表面涂层。此研究旨在推动钢制工模具低温化学气相沉积ＴｉＮ涂层的应用 相似文献
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