| 动态混合高结合力超厚TiN膜 |
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| 引用本文： | 龙振湖,薛恒春.动态混合高结合力超厚TiN膜[J].大连理工大学学报,1995,35(3):317-320. |
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| 作者姓名： | 龙振湖 薛恒春 |
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| 作者单位： | 三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部，北京航空航天部十三所 |
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| 基金项目： | 航空航天部“八五”科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 在新型的ＭＢＭＩ多束混合注入设备中、高真空条件下，在Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基底上采用化学配比态的强流Ｎ＾＋离子束，动态混合真空弧Ｔｉ等离子体束的沉积膜，得到高结合力（Ｌｃ：１００Ｎ）超厚（１０－３０μｍ）的ＴｉＮ膜。
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| 关 键 词： | 沉积 膜 等离子体 离子注入 氮化钛 |
Dynamic mixing ultra-thick TiN coatings with high bond |
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| Long Zhenhu,Ren Chunsheng,Yan Kun,Guo Baohai,Li Youhong,ZhangQingyu.Dynamic mixing ultra-thick TiN coatings with high bond[J].Journal of Dalian University of Technology,1995,35(3):317-320. |
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| Authors: | Long Zhenhu Ren Chunsheng Yan Kun Guo Baohai Li Youhong ZhangQingyu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma beam injection deposition thick films /multi-beam dynamulti-beam dynamic mixing transition bonding |
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