三自由度纳米磨削微定位平台的运动学特性

为了克服精密平面磨床进给系统分辨率低而难以实现纳米级磨削加工的不足,设计了一台三自由度微定位平台来实现纳米定位和振动误差动态补偿.该微定位平台采用3个高刚度压电陶瓷驱动器并联驱动,3个弹性铰链实现动平台的导向,利用3个高精度的电容式位移传感器测量动平台的实际位姿.为了深入研究三自由度微定位平台的运动学特性,分别利用欧拉角和RPY角描述动平台的姿态并基于空间解析几何理论,建立了微定位平台的正、逆解运动学模型,得到了传感器测量值和压电陶瓷驱动点的实际位移输出值间的映射关系,分析了不同姿态描述之间的内在联系,并研究了微定位平台受到压电陶瓷驱动器伸长量限制时的可达姿态空间.试验验证了三自由度微定位平台的特性和所建模型的正确性.试验表明该微定位平台的z向最大位移为12μm,章动角随进动角的不同而变化,最大可达130μrad.     

电子束曝光机工件台结构的设计研究

根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性，将机械驱动系统、激光测量和计算机组成一个闭环控制系统，利用计算机不断采样叠代，选择合适的校正系数适时校正，实现了快速运动精确达到预定位置。采用双频激光高精度测量定位，从误差分析出发，对结构进行了改善，保证了最终精度。     

压印工作台的纳米级自找准定位研究

针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统．为了消除外界干扰引起的激光干涉仪误差对整个系统精度的影响,系统采用粗精两组光栅和相应两组光强传感器来实现工作台三维位置度的检测．驱动环节采用宏微两级,相对于粗精两组光栅检测进行驱动,实现了分步式压印光刻的多点定位找准和多层压印的对准要求．为了提高在驱动过程中的定位精度和抗干扰能力,系统采用了精确模型匹配(EMM)算法,最终实现了在压印光刻工艺中,步进精度小于10nm、多层压印重复对准精度小于20nm的超高定位精度要求,使系统的整体定位找准精度控制在8nm以内。     

压电式微位移补偿机构

设计了一种压电式微位移补偿机构．采用压电陶瓷作为微位移驱动器，柔性铰链为导向机构，对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿，实现了工作台二次精密定位．提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器．可使工作台定位精度达0．01μm．满足许多精密、超精密加工场合需要。     

用压电陶瓷实现精密工件台的微定位控制

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪、以及由ＩＢＭＰＣ机和单片机组成的控制系统。     

精密运动平台宏微控制系统的设计

基于高动态精密伺服运动双台系统模型提出一种非线性宏微控制方法.该方法采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,并引入扩张状态观测器.系统在定位误差较大时,采用近似时间最优控制律的轻阻尼宏动台,以允许的最大速度快速响应,在接近目标位置后,再用采用复合非线性反馈控制律的重阻尼微动台来补偿宏动台超调引起的位置偏差,最终实现系统快速高精度的定位.通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,减小系统的稳态跟踪误差.研究结果表明:该方法改善系统的动态性能和抗干扰能力,提高系统的定位精度.     

压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

压印工作台的纳米级自找准定位研究

针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求 ,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统 ,为了消除外界干扰引起的激光干扰仪误差对整个系统精度的影响 ,系统采用粗精两组光栅和相应两组光强传感器来实现工作台三维位置度的检测 .驱动环节采用宏微两级 ,相对于粗精两组光栅检测进行驱动 ,实现了分步式压印光刻的多点定位找准和多层压印的对准要求 ,为提高在驱动过程中的定位精度和抗干扰能力 ,系统采用了精确模型匹配 (EMM )算法 ,最终实现了在压印光刻工艺中 ,步进精度小于10mm ,多层压印重复对准精度小于 2 …     

激光投影成像精密定位工作台的研究

在激光步进扫描投影成像设备中,高精密工作台则是系统中的一个重要组成部分。精密工作台系统包括宏动工作台和精动系统,宏动工作台包括精密机械及其传动系统,直线电机和步进伺服电机驱动系统及计算机控制系统;精动系统包括压电陶瓷驱动和执行放大以及计算机控制系统。由激光测长控制系统提供宏、精动系统的超精密位置检测和闭环反馈。     

纳米级压电陶瓷微位移系统的研究

介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统,该系统由压电陶瓷微位移工作台和计算机控制的专用驱动电源组成,系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关。阐述了以压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点,并用已研制成的高精度高分辩率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制。     

社会主义发展阶段的理论与实践

通过马克思主义发展阶段理论的分析，我国现阶段的社会主义不能属于“共产主义的第一阶段”，是不够格的社会主义。建设有中国特色社会主义的过程就是由不够格到够格的过程，这个过程相当长，今天我们只处于这个过程的初始阶段。邓小平初级阶段理论及江泽民总书记的《在庆祝中国共产党成立八十周年大会上的讲话》中有关初级阶段长期性、党的最低纲领和最高纲领的系列观点，揭示了这个特殊中间阶段的规律，无疑是对马克思社会主义发展阶段理论的发展。     

长江防洪堤南京段设计洪水风险分析

长江南京段洪水位存在明显上升的趋势,为确保新水情下防洪堤的安全,首先分析了引起该河段水位上升的原因,然后按３种方案研究了今后长江南京段出现不同水位的风险度,研究结果表明,长江南京段水位突破历史最高值１０．２２ｍ的重现期为２７年,１００年一遇的设计洪水位达１０．８ｍ左右。     

秸秆颗粒冷态压缩成型实验研究及回归分析

采用电子万能试验机和自制的实验装置，进行3种秸秆颗粒冷态压缩成型的开式实验研究，将其压缩成型特性曲线定义为松散、过渡、压紧和推移4个阶段，并对前3个阶段进行了回归分析，结果表明：在松散阶段，物料发生了局部弹性变形，其数学模型为线性方程；在过渡阶段，物料主要发生了弹性变形，其数学模型为指数方程；在压紧阶段，物料主要发生了塑性变形，该阶段的数学模型为线性方程．     

试论20世纪中国女性文学的女性意识

20世纪中国女性文学的女性意识经历了五四时期的暖昧期、30年代至70年代的消融期和80年代后觉醒张扬的超越期，渐渐走向成熟。这种变化是与时代的变化、社会的发展和妇女解放的步伐相一致的。     

论中国第四纪冰期与间冰期

李四光教授在庐山划分出三个冰期与两个间冰期,后来加上晚更新世的大理冰期,为四个冰期三个间冰期。李承三教授继而在四川西北部山区划分出五个冰期与四个间冰期。孙殿卿教授等后来在河北省泥河湾划分出六个冰期与五个间冰期。景才瑞等也曾在庐山与鄂西高原地区划分出四个冰期与三个间冰期。学者们比较公认的为：鄱阳冰期、鄱阳－大姑间冰期、大始冰期、大姑－庐山间冰期、庐山冰期、庐山－大理间冰期与大理冰期。目前处在冰后期。     

试论我国依法治国之三步曲

纵观我国依法治国的历史和现状，特别是1949年以后我国法制建设经历的三个阶段可以形象地比喻为“刀把子”时代→“指挥棒”时代→“马笼头”时代。“刀把子”是阶级斗争年代法律作用的主要标志；“指挥棒”是指把法律作为行政管理的工具；“马笼头”是宪政法治时代法律功能的标志。如今我国的法制建设，离市场经济对法制的要求尚有不小的差距，需要法律来约束和规范国家的权力，这既是市场经济的需要，也是我国依法治国的必由之路。     

谈给排水工程的施工管理

由于给排水系统施工具有其特殊性，在给排水工程施工过程中，管理是十分重要的。对给排水工程施工中的3个阶段(准备、施工、试验与验收)的管理工作进行了阐述。     

浅谈建筑工程在实施阶段的造价控制

建设工程造价控制贯穿于建设项目的全过程。从决策、设计、招投标及合同、施工、竣工验收等几个阶段探讨了建筑工程的造价控制。     

塑性材料“初生”“再生”屈服和强化中的相持新看法

通过国内外热轧钢筋机械性能检测现象及其数据分析,对塑性材料的典型代表——钢的轴向静力拉伸试验σ-ε关系图提出“初生”屈服和“再生”屈服以及强化中相持阶段的新看法,并分析了产生的原因和特点。同时,对颈缩阶段中有关力学现象进行了简要的描述。本文对于塑性材料从“流变到破坏这一过程的变化机理、内部组织结构及其本构关系、形变能的变化规律、内能耗散与位错理论以及提高材料抗力等方面的研究具有重大的理论参考价值与实际意义。