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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 546 毫秒
1.
采用SOL-GEL方法分别在Si和含有SiO2的衬底上制备出PZT铁电薄膜,并获得了MFS和MFOS结构.利用MOS结构常用的C-V特性分析方法,对MFS和MFOS结构进行了高频C-V特性测试分析,研究了F/(O)S的界面特性,结果表明,金属/PZT/SiO2/Si的MFOS结构具有较低的界面态,可实现极化存储,并可望制成铁电场效应晶体管.  相似文献   

2.
PZT/SiO2/Si界面的XPS分析   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用SOL-GEL工艺在SiO2/Si衬底上制备了铁电薄膜,对PZT/SiO2/Si结构进行了XPS分析,结果表明,在PZT铁电薄膜和硅衬底之间加SiO2使F/S界面得到了改善。  相似文献   

3.
采用SOL-GEL工艺在SiO2/Si衬底上制备了铁电薄膜,对PZT/SiO2/Si结构进行了XPS分析,结果表明,在PZT铁电薄膜和硅衬底之间加SiO2使F/S界面得到了改善.  相似文献   

4.
通过MOS结构C-V特性曲线和C-V特性滞后曲线,对不同淀积条件下的SiO2-Si界面特性进行了研究,并与热氧化法和PECVD法生长的SiO2膜界面进行了比较,结果表明,在不同工艺条件下,其界面电荷密度有所不同,与热氧生长膜的界面电荷密度相近,比PECVD膜的界面电荷密度稍低,且其界面基本上呈现负电荷中心,根据俄歇电子能谱的结果,对其界面负电荷的形成作了定性的解释。  相似文献   

5.
通过MOS结构C-V特性曲线和C-V特性滞后曲线,对不同淀积条件下的SiO2-Si界面特性进行了研究,并与热氧化法和PECVD法生长的SiO2腹界面进行了比较.结果表明:在不同工艺条件下,其界面电荷密度有所不同,与热氧化生长膜的界面电荷密度相近,比PECVD膜的界面电荷密度稍低,且其界面基本上呈现负电荷中心.根据俄联电子能谱的结果,对其界面负电荷的形成作了定性的解释.  相似文献   

6.
研究了LCASSiCwZrO2 复合材料的力学性能及其微观结构.力学性能分析表明:SiCw 增韧和ZrO2 相变增韧的加和性不是简单地叠加,SiCw 增韧提高了ZrO2 相变增韧效果.体积分数分别为55 % ,30% ,15% 的LCAS,SiCw ,ZrO2 复合材料的断裂韧性K1C和抗弯强度σb 达到6-4 MPa·m1/2 和331-7 MPa.透射电镜(TEM) 图象表明:复合材料中ZrO2 起了应力诱导相变增韧作用;LCAS/SiCw 界面较清晰,其宽度约15 nm ;搭在LCAS/SiCw 界面两侧的杆状TiC 颗粒增加了界面结合强度  相似文献   

7.
比较了Sol-Gel工艺制备PZT薄膜的两种热处理过程成膜情况和对PZT/Si结构的影响,其中,低温烘烤、快速升温、高温退火的热处理方式有利于钙钛矿相成相。但PZT薄膜完成全过程退火后难以进行图形加工。对含有SiO2的Si衬底上的情况分析表明SiO2有改善界面特性的作用。  相似文献   

8.
NiO/SiO2是优良的非贵金属型CO氧化催化剂,EXAFS和TPR表征表明其活性中心为NiO。在此基础上进行的Monte Carlo模拟表明,在NiO/SiO2上CO氧化遵循L-H机理。  相似文献   

9.
采用红外吸收光谱分析了SIPOS薄膜中Si-O键的结构,对比了热退火、快速灯光退火对SIPO中Si-O键结构的影响,并结合SIPO/Si结构的C-V,I-V测试结果,对其界面特性进行了分析。  相似文献   

10.
采用红外吸收光谱分析了SIPOS薄膜中Si—O键的结构,对比了热退火、快速灯光退火对SIPOS中Si—O键结构的影响,并结合SIPOS/Si结构的C-V,I-V测试结果,对其界面特性进行了分析.  相似文献   

11.
硅基取代环戊二烯基二羰基铁负离子[η^5-RC5H4Fe(CO)2]^-(R=SiMe3,I;Si2Me5,Ⅱ)与铁碘化合物(η^5-C5H5)Fe(CO)2I反应,除得到新的Fe-Fe化合物外,还分离到另两种母体Fe-Fe化合物;桥连化合物(η^5,η^5-C5H4SiM32OSiMe2C5H4)[Fe(CO)2I]2(6)与铁负离子[η^5-C5H5Fe(CO)2]^-(Ⅲ)的反应,仅分离到各  相似文献   

12.
采用Sol/Gel工艺制备PZT/Si结构,从该结构的极化特性、开关特性和I-V特性等方面研究了硅衬底上铁电薄膜的自偏压异质结特性.并以这种效应分析了FRAM电容中铁电薄膜的疲劳机制.  相似文献   

13.
比较了SolGel工艺制备PZT薄膜的两种热处理过程成膜情况和对PZT/Si结构的影响,其中,低温烘烤、快速升温、高温退火的热处理方式有利于钙钛矿相成相.但是PZT薄膜完成全过程退火后难以进行图形加工.对含有SiO2的Si衬底上的情况分析表明SiO2有改善界面特性的作用  相似文献   

14.
对温度500℃、RF氧等离子体氧化生长的SiO2形成的MOS结构进行了DLTS测量。应用能量分辨DLTS模型对这种高密度界面陷阱的特性进行了分析和计算。结果表明界面电子陷阱在禁带上半部的密度为3~8×10^12eV^-1cm^-2;俘获截面σn(E)约为10^-18cm^2数量级。结合准静态C-V测量研究了后退火对陷阱的影响,经400℃/30分钟、N2气氛热退火可使陷阱密度降为1~2×10^11e  相似文献   

15.
离子注入形成FeSi2埋层的电镜研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
利用MEVVA离子源将Fe离子注入到Si基体中会生成一层铁硅化物薄膜.利用电子显微镜,研究了这层铁硅化物的显微结构及其在随后的升温退火过程中发生的变化.研究结果表明,在离子注入剂量为1×1017/cm2的未退火样品中,亚稳的γ-FeSi2相占大多数,同时有少量的由CsCl结构派生的缺陷相Fe1-XSi.在(100)取向的Si片上,这个硅化物层埋在硅基体中,形成了厚度为25nm左右的埋层(buriedlayer)结构  相似文献   

16.
采用XRD,IR,Mobauer ESR,XPS,SEM和孔结构分析等分析测试手段,对比研究了新鲜,失活和再生三种丙烯氨氧化催化剂的体相结构和表面性质。结果表明,新鲜催化剂中各元素以Fe2(MoO4),α-CoMoO4,NiMoO4,γ-Bi2O3.MoO3,α-Bi2O3.3MoO3,η-MoO3,α-Bi2O3和β-Bi2O3形式存在2;失活催化剂中,部分Fe2(MoO4)3转变为α-Fe-M  相似文献   

17.
用电沉积法制备Mo-W-Ni-Pb-Ca多元活性阴极,研究了在0.5mol/L H2SO4中的析氢反应,结果表明,多元阴极具有较高的电催化活性,其析氢过电位比软钢阴极降低305mV,i0提高三个数量级,且有较好的稳定性,并用光电子能谱研究了表面组成和结构。证实表面有:Ni,NiO,MoO2,MoO^2-4,WO3,PbO2,PbO,Ca^++等物质。  相似文献   

18.
SiCp/ZA22复合材料的界面   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了SiCp/ZA22复合材料的界面。根据界面反应的热力学,能谱分析及高分辨透射电镜的研究结果,发现SiC/α-Al界面上形成了少量Al2MgO4过渡层,而SiC/η-Zn间无任何反应发生。  相似文献   

19.
通过热力学和俄歇剖面分析,对用半固态溶液搅拌法制备的SiCp/Al-Cu复合材料的界面行为及其对湿润性的影响进行了研究.表明在SiCp/Al界面上发生了界面反应,界面反应的产物是MgO和MgAl2O4.  相似文献   

20.
用半导体理论讨论了金属-铁电薄膜-半导体(MFS)结构的电容-电压(C-V)特性,其结果表明:在n型Si基片上,理想MFS的C-V曲线为逆时针回滞,有载流子注入的MFS结构的C-V曲线为顺时针回滞,这与实验结果是一致的。  相似文献   

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