新型微位移电容式传感器的研制

介绍一种新型微位移电容式传感器的工作原理，探讨了一些参数对传感器的影响，并给出了实验分析的结果。     

小位移电容传感器原理分析

本文提供电容传感器的线性测量小位移的一种方法,并地其特点在理论上给予证明。     

高线性数字式电容微位移传感器

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器，采用屏蔽电缆和电容保护环技术，有效降低杂散电容的影响．采用数据滤波技术对采样数据进行处理，提高了测量的准确性和重复性．实验结果表明：该电容微位移传感器的分辨力为0．01μm，全量程线性度0．05％，性能较传统电容位移传感器有较大提高．     

纳米级压电陶瓷微位移系统的研究

介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统,该系统由压电陶瓷微位移工作台和计算机控制的专用驱动电源组成,系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关。阐述了以压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点,并用已研制成的高精度高分辩率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制。     

动态微位移补偿器的研制

本文介绍了一种压电陶瓷微补偿器，其位移输出与输入电压呈线性关系，满量程误差小于0.6%；在频率低于500Ｈz时的动态性能颇为理想；模拟静压轴承的主轴回转误差进行仿真试验，补偿器的输出位移信号与其模拟输入信号，在２０Ｈz(１２００r／ｍｉｎ）下是十分相近的．     

精密可控微位移器试验研究

本文利用压电陶瓷逆压电效应研制成功了精密可控微位移器.在静动态试验下效果良好,其线性度、稳定性、回零性和滞后量均达到了理想程度,可用于机床误差补偿和热变形补偿系统中.     

超精密加工中的微位移技术

微位移技术是实现超精密加工的重要途径，据此介绍了微位移的实现方法，并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍，阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点．最后进行了采用MCS-51系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验．结果表明，工件的面形精度提高了50％以上．     

压电式微位移补偿机构

设计了一种压电式微位移补偿机构．采用压电陶瓷作为微位移驱动器，柔性铰链为导向机构，对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿，实现了工作台二次精密定位．提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器．可使工作台定位精度达0．01μm．满足许多精密、超精密加工场合需要。     

电容式数字微位移传感器的研究

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器,采用屏蔽电缆和电容保护环技术,有效降低杂散电容的影响。采用数据滤波技术对采样数据进行处理,提高了测量的准确性和重复性。实验结果表明:该电容微位移传感器的分辨力为0.01μm,全量程线性度0.05%,性能较传统电容位移传感器有较大提高。     

用电容位移传感器测量金属丝弹性模量

针对传统测量弹性模量方法存在的局限,提出了一种新的用电容位移传感器测量金属丝弹性模量的方法.详细介绍了测量原理、测量装置和测量过程,给出了测量结果,并讨论了影响测量误差的主要因素及减小测量误差的具体措施.选用钢丝作为具体测量对象,测量结果与材料手册中给出的结果吻合.本测量方法较传统测量方法有更高的测量精度,可用于测量多种金属丝的弹性模量.     

利用自制电容测量微小位移

利用电容的容量变化来测量微小的位移变化是一种常用的方法.采用两块同样大小的钢制圆盘作为电容的两个极板.加上一个螺旋测微计.设计了一个自制的电容.并利用自制电容来实现对微小位移的测量.     

用压电陶瓷实现精密工件台的微定位控制

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪、以及由ＩＢＭＰＣ机和单片机组成的控制系统。     

梯度功能压电陶瓷执行器的制备及其微位移特性

研究了ｘＰｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－（１－ｘ）Ｐｂ（ＺｒδＴｉ１－δ）Ｏ３三元系固溶体的介电和压电性能。采用粉末冶金法制备了Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－ＰｂＺｒＯ３－ＰｂＴｉＯ３（ＰＮＮ－ＰＺ－ＰＩ）系梯度压电功能材料（ＦＧＭ），研制了一种新型的ＦＧＭ高陶瓷执行器，它有三层材料构成；压电陶瓷层，中间夹层（组分梯度变化）和高介电层，其弯曲位移特性的研究结果表明在工艺电压为１００Ｖ时，室温     

沈阳成功研制我国首台自主知识产权的硅电容传感器

我国首台具有自主知识产权的硅电容传感器在沈阳问世。由沈阳仪表科学研究院研制的硅电容传感器及硅复合传感器将大规模投入生产。     

电容式位移传感器的信号处理电路设计

微电容式传感器技术作为微机电系统研究和制造领域一个重要的分支,近年来在微型化、多功能化、智能化得到迅猛发展。目前该领域的研究虽然有了较大发展,但距实际应用仍存在有待进一步研究和解决的问题。本文在对目前较为常用的几种测量电路结构进行分析的基础上,选取交流激励电容一电压转换电路作为微电容检测方式。通过仿真调试和实验,对交流激励电容测量电路的关键元件参数进行了优化。     

纳米级位移传感器接口电路的研究

从降低噪声的角度，研究了用于微位移传感器的接口电路，介绍了几个主要环节的设计与参数选择，该接口电路及成功用于纳米级位传感器中。     

智能无线载荷位移传感器改进与应用

针对传统示功图分体式测量采集设备具有的安装环节多、维护不便、测量精度不高等诸多不足,整合改进成一种安装简单、维修和维护方使、测量精度高的智能无线载荷位移传感器,为建设数字化油田、及时采集油井动态资料,判断、制定和及时调整油井工作制度提供施工依据,降低成本.     

基于电容传感器的低露点湿度仪研制

该文在介绍氧化铝电容式传感器测量露点原理的基础上，详细论述了低露点湿度测量的几个重要问题：温度与压力补偿、传感器的稳定性及校正方法和系统测量问题，最后给出了温度修正经验公式．测试表明，该湿度仪精度高、性能稳定．     

聚酰亚胺薄膜电容栅FET湿度传感器的研制

一种聚酰胺（ＰＩ）薄膜电容栅ＦＥＴ微型湿度传感器已经初步研制成功。这是一个ｎ沟道壁强型器件，具有曲折栅结构，沟道长约１０μｍ，宽〉８０００μｍ；栅区绝缘层厚约３３０００Ａ（ＳｉＯ２＋Ｓｉ３Ｎ４）；一个ＡｕＰＩ－Ａｌ纵向湿敏电容覆植于绝缘栅上，本文叙述了该ＰＩ－ＨＵＭＦＥＴ的结构设计，工作原理和主要性能，对某些有关问题进行了初步讨论。     

非晶态合金位移传感器的研制

本文介绍了一种有直流输出的新型位移传感器。该传感器用非品态合金丝制成敏感器件，以多谐振荡电桥作为测量电路．探测一永久磁铁的位移量。该传感器除可测位移量外，尚可应用于振动、厚度、磁场强度等测量领域。