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利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气
体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了 具有金红石、 金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜, 工作气压从0.2 Pa变 化到2 Pa, TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相. 低于600 nm时, 厚度对T iO2薄膜结构没有明显影响. 相似文献
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在不同温度下(200~ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金刚石膜是由少量的sp2 C键和大量的sp3 C键组成的非晶态碳膜. 在退火温度小于600 ℃范围内, 类金刚石膜的热稳 定性较好; 退火温度高于600 ℃时, 类金刚石膜中的sp3 C键逐渐向sp 2 C键转变, 当退火温度升到800 ℃时, 类金刚石膜中sp3 C键含量由 退火前的大约70%下降到40%. 可见, 高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势. 相似文献
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基底偏压对氮化硼薄膜场发射特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用射频磁控溅射方法, 在n型(100)Si(0.008~0.02 Ω·m)基底上沉积了氮化 硼(BN)薄膜. 红外光谱分析表明, BN薄膜结构均为六角BN(h-BN)相. 在超高真空系统中 测量了BN薄膜的场发射特性, 发现BN薄膜的场发射特性与基底偏压关系很大, 阈值电场随基 底偏压的增加先增加后减小. 基底偏压为-140 V时BN薄膜样品场发射特性要好于其他样品, 阈值电场低于8 V/μm. F~N曲线表明, 在外加电场的作用下, 电子隧穿BN薄膜表面势垒发射 到真空. 相似文献
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