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11.
高精度步进压印机热误差的建模分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型.实验结果与模型计算结果的对比分析表明,模型的热误差预测精度在x方向可以达到899/6,而在z方向可以达到939/6.应用表明,该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法,可避免热误差建模过程中的变量耦合问题,从而提高了模型的精确性.  相似文献   
12.
The crystallinities, thermal properties, liquid crystal properties and rheologic properties oftwo series of the aromatic copolyesters are studied. One of them is composed of IPA, 2,6-NDA,CLHQA, PABA and. the other composed of TPA, 2.6-NDA, CLHQA, IPA. The results showthat the crystallinities of the aromatic copolyesters are relatively low and the melting point of thecopolyesters decreases with an increase of the unsymmetrical contents. These two series of aro-matic copolyesters are both suitable for the conventional melt spinning process and have a goodfiber forming property and a good thermal stability. The viscosities of aromatic copolyestermelts are greatly affected by the shear rate, hence the so-called" thinning under shearing" phe-nomenon. The melts have a rather high viscosity flow activation energy and a relatively lowelasticity.  相似文献   
13.
概述了新疆绿洲和新疆园艺业的情况,从经济效益、社会效益、生态效益三个方面较全面地论述了园艺业在新疆绿洲建设中的地位和作用,旨在强调其在绿洲中的重要性,同时探讨性地提出了园艺业在新疆绿洲中健康发展的可操作性体系。  相似文献   
14.
论述了微机励磁控制器硬件电路设计及控制规律,微机励磁控制器硬件采用模块化设计,四种控制规律:比例式、比例式^+电力系统稳定器、线性最优控制、基于H∞技术鲁棒性控制。通过对单机无穷在系统小干扰、大干扰仿真表明,线性最优控制和基于H∞技术鲁棒控制较前两种控制规律为优,它们不仅能有效的提高系统的静态性能,而且在大干扰情况下,也能够为系统提供阻尼,改善系统的动态品质。  相似文献   
15.
只用两个偏振态的量子密码术方案   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文提出一种基于海森堡测不准关系的、只用两个非正交偏振态光子的量子密码术新方案,对其原理和防窃听性进行了详细的讨论,并和国际上流行的几种方案进行了比较。  相似文献   
16.
本研究了60种放线菌类培养滤液体外自由基清除和抗氧化活性.这60种放线菌类按阿拉伯数字的顺序被编号.分别采用化学反应抑制自由基产生的化学测定法和抑制红细胞溶血的生物测定法.结果显示2#、41#、45#、52#和54#同时具有高的羟自由基和超氧阴离子的清除活性,以及抑制红细胞溶血能力;36#仅有羟自由基清除活性;44#有超氧阴离子的清除活性,同时有抑制红细胞溶血能力.由此估计抑制红细胞溶血与超氧阴离子的清除活性有关,而与羟自由基清除活性无明显的关系.  相似文献   
17.
In contrast to overwintering cold hardening, a rapid cold hardening process has recently been described in insects. This process can rapidly enhance cold tolerance of insects in several hours or even minutes. The characteristics of rapid cold hardening include inducing conditions, cold hardening effects, and fitness costs. Physiological and biochemical mechanisms of rapid cold hardening include rapid changes in the phospholipid composition and the increase in hemolymph osmolalities, polyols production, proline and cold-induced proteins. Moreover, there are different views about the ecologically adaptive significance of rapid cold hardening in insects. This paper reviews research results about rapid cold hardening of insects since 1987, focusing on forms of cold injury, strategies of cold tolerance, and definitions, characteristics, physiological and biochemical mechanisms and adaptive significance of rapid cold hardening.  相似文献   
18.
污泥中重金属的生物沥滤及其机理分析   总被引:15,自引:0,他引:15  
为解决污泥农用的主要障碍之一——污泥中重金属含量超标的问题,采用生物法对污泥中的重金属沥滤进行了研究.试验结果表明,在土著硫杆菌的作用下,可使污泥中的Cu、Zn、Cd、Cr、Ni、Pb分别有77.7%、80.3%、54.1%、38.5%、71.6%和26.4%溶出;而硫氧化成硫酸可使污泥中的总大肠菌群大量减少.污泥经生物沥滤后,其重金属含量大大低于污泥农用质量标准.  相似文献   
19.
超高精度定位系统及线性补偿研究   总被引:4,自引:1,他引:4  
依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算,确定了系统的自然频率,并由此设计出双伺服环的控制系统。控制系统由2根循环滚珠丝杠构成宏定位,3个压电驱动器构成微定位。在系统软件中,采用Chebyshev数字滤波器进行去噪,使整个定位系统控制在200mm的行程中,其定位精度达到了8nm。对于由压电驱动器(PZT)的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差,系统采用EMM(Exact Model Matching)控制策略,最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低5倍以上,使得正反向运动几乎落在同一曲线内,实现了对压印光刻工艺集成电路制造中的高精度定位要求。  相似文献   
20.
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