高精度步进压印机热误差的建模分析

为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差，以提高压印机的套刻对准精度，运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量，将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个，并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型．实验结果与模型计算结果的对比分析表明，模型的热误差预测精度在x方向可以达到899／6，而在z方向可以达到939／6．应用表明，该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法，可避免热误差建模过程中的变量耦合问题，从而提高了模型的精确性．     

超高精度定位系统及线性补偿研究

依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计，应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算，确定了系统的自然频率，并由此设计出双伺服环的控制系统。控制系统由2根循环滚珠丝杠构成宏定位，3个压电驱动器构成微定位。在系统软件中，采用Chebyshev数字滤波器进行去噪，使整个定位系统控制在200mm的行程中，其定位精度达到了8nm。对于由压电驱动器（PZT）的迟滞和非线性特性而产生的系统重复运动误差，系统采用EMM（Exact Model Matching)控制策略，最终实现正向和反向运行的误差量比补偿前降低5倍以上，使得正反向运动几乎落在同一曲线内，实现了对压印光刻工艺集成电路制造中的高精度定位要求。     

高方盒末次拉深中角部壁间距的优化计算

本文从主同盒形件末次拉深的变形分析出发,建立数学模型,对末次拉深中角部壁间距δ进行了优化计算,对工艺设计具有指导意义。     

中兴SDR基站多场景应用分析

<正>一、SDR基站的特点SDR(软件无线电)是1992年美国科学家J.Mitole提出的一种实现无线通信的新型体系结构,其基本原则是:使用1种模块化的通用硬件无线通信平台,把尽可能多的无线通信及个人通信功能通过软件来实现。使得过去由完全依赖硬件的设计思     

中兴SDR基站多场景应用分析

一、SDR基站的特点 SDR（软件无线电）是1992年美国科学家J．Mitole提出的一种实现无线通信的新型体系结构,其基本原则是：使用1种模块化的通用硬件无线通信平台,把尽可能多的无线通信及个人通信功能通过软件来实现．     

基于城市地下道路污染物排放特性的交通特征调研

城市地下道路的建设可有效缓解日益拥挤的城市交通状况,然而交通特征使得机动车污染物排放不能简单照搬已有公路设计规范.有效把握城市地下道路内机动车主要污染物的排放特性,对城市地下道路通风系统的设计标准以及设计方法的确定具有非常重要的指导意义.以北京、上海作为一类代表城市,武汉、南京、广州作为二类代表城市,通过对机动车保有量、车型比例、交通流量、车速等参数的调查研究,分析得出不同城市交通特征对地下道路污染物排放因子的影响.结果能够为进一步确定排放因子以及污染物排放量计算方法提供依据,为隧道通风设计奠定基础.     

高保真度五步加载纳米压印光刻的研究

从理论上建立了压印光刻工艺中留膜厚度与压印力的关系，为压印预设曲线的建立提供了理论依据。基于液态光敏抗蚀剂在紫外光照射下发生光固化反应这一特性，对固化过程进行了详细的分析，建立了抗蚀剂的固化深度与紫外光曝光量之间的关系。在分析了现有压印工艺存在的问题后，提出了一个全新的压印工艺：高保真度固化压印，即包括特征转移-抗蚀剂减薄-脱模回弹力释放-保压光固化-脱模等压印过程。实验结果表明，高保真度固化压印过程与加载路线能实现复杂图形特征的复制，从而保证了压印图形的保真度，并可保证图形复制的一致性及适度留膜厚度，压印图形的分辨率可达100nm。     

拉深工艺CAD系统中参数的优化计算

拉深工艺设计中的拉深系数ｍ、凹模圆角半径Ｒｄ、凸模圆角半径Ｒｐ重要的工艺参数，本文从拉深基本理论出发，建立数学模型，对主要工艺参数进行优化计算，根据拉深件材料及生产条件求得主要工艺参数的精确解及其相互的关系，对工艺设计计算有指导意义。     

包钢加固混凝土柱轴心受压性能的有限元分析

通过运用有限元分析软件ANSYS对轴心受压湿式外包钢加固的钢筋混凝土柱进行弹塑性分析，讨论了有限元模型的建立，并将有限元分析结果与试验结果相比较．分析表明：合理建立模型并恰当选取参数后，可以对钢筋混凝土结构作准确的模拟，从而达到降低劳动投入，减轻试验工作量，提高效率的目的．     

高精度压印机压印轴的热误差分析

在压印光刻工艺中,针对压印机由于温度变化而引起的热误差,通过建立压印机压印轴有限元分析模型,对其温度分布进行了仿真计算.采用高斯求积法优化了温度传感器的位置和数量,选取了1个热源点和2个高斯点作为测温关键点,建立了压印轴测温点的温度变化与压印轴轴向热误差之间的线性计算模型,该方法可以预先确定测温点的数量和位置,避免了传统的从多个测温点中通过实验选择最优传感器数量和位置的方法.研究结果表明,有限元计算结果与实验中温度测量值之间的误差小于7 7%,仿真结果能准确反映压印轴温度场的分布情况,所建立的压印轴热误差模型的计算精度可以达到93%,因此获得了较高的计算精度.