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31.
新型电子清洗工艺对半导体表面的清洗效果 总被引:4,自引:0,他引:4
报告了一种新型电子清洗工艺,该工艺采用了被命名为DZ-1和DZ-2的两种新型电子清洗剂分别与95%体积的去离子水配制成清洗液,先后用超声波清洗,用高频C-V测试和原子吸收光谱分析研究了清洗效果,用该工艺清洗过的硅片生长的二氧化硅层中固定电荷密度在10^10cm^-2数量级,去重金属离子能力与常规CMOS/SOS栅氧化工艺相当,新型清洗工艺具有操作简单,价格低廉,且无毒,无腐蚀和对人体无危害,对环境 相似文献
32.
液晶显示器行业目前一般采用ODS溶剂清洗.对一种新型水基替代ODS清洗技术进行了研究。利用X射线光电子谱的测试方法,比较用两种清洗技术清洗过的样品,结果表明,新型替代清洗技术优于传统ODS清洗技术. 相似文献
33.
从山西印染厂活性污泥中分离出三株降解苯酚的红球菌,它们均能以苯酚作为生长的唯一碳源,20小时之内可将500ppm的苯酚去除90%以上;其降解苯酚的最适pH为7.0—9.0;降解苯酚的最适温度分别为:R(?),30—35℃; R(?),30—35℃,R(?),25—30℃。培养48—72小时降解苯酚的最高浓度分别为:R(?)为1400ppm,R(?)为1600ppm,R(?)为1100ppm;耐酚极限均为2000ppm。氰化物对它们降解酚苯有抑制作用。 相似文献
34.
马洪元 《苏州科技学院学报(自然科学版)》1993,(1)
本文根据铁道部《先行计划》所规定的战略目标,通过分析铁路部门参与旅游业发展的必要性和可行性,提出了制订铁路沿线旅游规划应循的原则。在此基础上,重点探讨了规划的主要内容:铁路沿线地区基本条件的调查、分析与评价;旅游列车专项服务的内容与方法;铁路部门参与地方旅游业建设的内容与途径;铁路系统内部的协作;旅游专线和专列的合理布局等。对于规划的编制方法,本文也作了简单的介绍。 相似文献
35.
马洪 《系统工程理论与实践》1981,1(1)
试用系统工程学来探讨经济结构的调整,在我国来说可能还是一个新课题。 任何一个国家的人力、物力、财力,在一定的历史发展阶段和一定的经济发展水平上,总是有一定限度的。为了合理地利用资源、尽可能用最少的人力、物力、财力来满足人民的需要,必须有良好的经济结构。 相似文献
36.
为了探讨气流槽聚型紧密集聚纺纱系统集聚区内的力矩传递,首先分析了集聚区内纺纱张力矩和气流力矩的传递过程,然后分析了纱线自身回转产生的扭矩与纺纱张力矩和气流力矩的关系.研究结果表明:影响力矩传递的主要参数有纺纱张力、吸气负压值等;纺纱张力矩与气流力矩决定捻度是否会越过纤维束与凹槽底部的初始接触点上传至前钳口;适当提高吸气负压值可以缓解纺纱张力. 相似文献
37.
38.
为保证盐穴的安全,盐穴储气库运行过程中留有垫底气,这是盐穴储气库的特点之一,也是盐穴储气库的缺点。为充分利用盐穴储气库的垫底气,首先介绍了紧急工况下的最小运行压力概念,并给出基于屈服-扩容-破坏复合强度理论的设计准则,该方法能够采出部分垫底气;其次,为了置换出全部的垫底气,提出饱和卤水置换盐穴储气库垫底气的技术方案,该方案能够置换出全部的垫底气,但该方案需要大量的饱和卤水;然后,提出采用高压空气置换盐穴储气库垫底气,利用饱和卤水作为隔离介质,高压空气推动饱和卤水,饱和卤水推动天然气来置换出全部垫底气,该方案仅需一口溶腔的饱和卤水作为隔离介质,就可以用空气置换出全部的垫底气,但置换效率受制于液体的流动速度;最后介绍了一种内胆式盐穴储气库,该型储气库为无垫底气式储气库,能够高效采出全部的天然气,并能保持盐穴内压在一个较高的压力水平,有利于盐穴的稳定,能够延长其使用年限。 相似文献
39.
该文采用Hummers法处理石墨粉制备氧化石墨烯,材料的宏观和微观形貌发生明显的变化,从而推断材料的组成和结构在处理过程中发生了明显的改变。分别利用扫描电镜、X-ray衍射光谱(XRD)、拉曼光谱和X-ray电子能谱证实了上述推论。该文探索将成熟的氧化石墨烯制备方法结合纳米材料的形貌、结构和组成表征技术作为一门综合实验引入本科生实验课程。通过对比石墨粉与氧化石墨烯的宏观结构、微观结构和组成的差别,使学生认识到材料合成条件控制的重要性以及纳米材料维度差异。借助综合实验平台将成熟的科研成果转化为实验教学内容,可开拓学生的科研视野、思路,掌握新的测试技术,同时有效地培养学生的科研能力、分析和解决问题的能力,为今后的工作或继续深造打下基础。 相似文献
40.
论述了ITO膜的导电机理及生长机理,讨论了电子束加热真空蒸镀ITO膜的方法中,膜的组分、氧分压、衬底温度和蒸发速率等几个参数对ITO膜光电性能的影响.在选择合适的工艺条件下制备ITO膜,电阻率约4×10-4Ω·cm,可见光范围内平均透过率高于90%. 相似文献