MEMS技术在微型热泵中的应用

微型热泵是指特征尺寸为"厘米级"的热泵,可用于建筑物、交通工具、衣服或其它装置的供暖或制冷.微电子机械系统(MEMS)的迅速发展,使过程机械装置的微型化和轻量化成为可能,将MEMS技术应用于热泵,其体积和传统装置相比可以缩小到60倍以上.对几种微制造技术进行了比较,并介绍了MEMS技术在微型热泵中的应用.     

MEMS技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视。介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势,MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。     

基于贝叶斯网络的MEMS安全系统可靠性分析

随着MEMS技术的不断发展,对于引信中MEMS安全系统的可靠性提出了更高要求.为了解决目前MEMS安全可靠性分析中存在着各机构可靠度数据不全面,主要依赖于大量实验或专家经验的现状,对MEMS安全系统的失效状况进行分析,构建了MEMS安全系统的故障树,并计算了各重点机构的可靠度功能函数.以此为基础,提出了一种将故障树与贝叶斯网络进行转化的可靠性分析方法.同时针对各失效机理进行了概率重要度和结构重要度计算,从可靠性重要度角度提出了MEMS安全系统设计中的重点优化机构,并进行了计算实例分析.借助于MEMS加工工艺,实现了MEMS安全系统的加工,通过可靠性测试实验,证明了本方法计算的快速准确性.      

基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究

随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题.最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.     

MEMS技术的发展与应用

MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响.本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用.     

微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展

微光机电一体化系统简称微系统，是当今技术发展的前沿领域之一。微系统技术的发展将大大地促进许多产品或装置微型化、集成化和智能化，成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能降耗，有广阔的应用领域和市场。文章阐述了微系统研究的意义以及微系统基础研究的重要性，概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能，指出了MEMS技术是最终实现单芯片机电一体化无线收发系统的根本途径之一，介绍了用于无线通信网络的单芯片机电一体化的微系统研究进展情况。     

博士园

BS-041162MEMS(微机电)系列产品王云龙(美国)MEMS(微机电系统)是微电子技术的拓宽和延伸,它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。该项目所研制的产品有:MEMS麦克风和扬声器,它体积小、频域范围宽、频率响应平坦、制造成本低,既可在空气中使用,也可用在水下,还具有抗酸抗腐蚀性,可广泛用在手机、电话、助听器、玩具等各种不同的电器中,也可用来制造高精度超声测量仪器;MEMS高精度微量无痛注射器,主要用来注射精确的微量元素,尤其适用于糖尿病人、哮喘和预防接种;MEMS高精度微量传感器,它是高…     

浅论MEMS技术发展趋势与应用

MEMS技术是一门新兴的技术,是多种学科交叉融合的前沿高技术,近年来越来越受到世界各国的重视。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用。     

应用于MEMS的芯片倒装技术

通过对芯片倒装技术尤其是凸点加工工艺在MEMS设计中的作用进行实例分析,指出倒装芯片不仅是一种高性能的封装模式,还能为MEMS器件提供立体通道或是力热载体,并形成许多特殊的结构。在MEMS的加工过程中,可以充分考虑芯片倒装技术所带来的加工便利。     

2012-06 科技新闻媒体关注指数排行榜

 微机电系统(Microelect-romechanical Systems,MEMS)的出现和发展与集成电路技术紧密相连,集成电路制造技术是MEMS技术的基础制造技术。与CMOS只包含平面晶体管和金属互连不同,MEMS可以通过体微加工技术、表面微加工技术和LIGA等特殊加工技术制作复杂的三维微结构和可动结构,MEMS的应用范围已经拓展到机、光、热、电、化学、生物等领域。     

基于MEMS的细长体非对称涡控制机理研究

目前,微机电系统（MEMS）作为致动器和传感器已被广泛应用于航空航天领域中。MEMS器件具有很好的功能性、集成性、可控性和鲁棒性等等。根据MEMS器件的特性,采用NS数值计算技术,对细长体在大迎角飞行状态下的非对称涡进行了气动控制。分析了MEMS器件控制流场的机理和将非对称涡转变为对称涡的流场控制机理,获得了MEMS器件控制流场特性的宏观效果。研究表明：MEMS器件对控制大迎角细长旋成体非对称涡和复杂流场具有良好的控制能力。     

MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述

介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。     

面向概念设计的MEMS产品实例检索方法

针对现有产品实例检索方法存在的问题及概念产品结构的特点,提出了一种基于路径集的微机电系统(MEMS)产品实例检索方法,通过关键元部件及其拓扑关系建立产品结构树,并转化为相应的产品路径集,以产品路径集的编辑距离来衡量产品实例相似度大小.文中首先提出了产品路径集及其编辑操作的定义,建立了基于产品路径集的加权编辑距离计算模型;然后根据路径集编辑操作的原则提出了产品路径对编辑距离算法,以此为基础提出产品路径集编辑距离的计算方法和流程,实现对MEMS产品实例结构的相似度评价;最后以微机械滤波器的实例检索为例验证了该方法的有效性.     

基于Web3D的交互式产品演示设计探索

Web3D技术是一种互联网上的3D图形技术,是网络技术和虚拟现实的结合,将其应用于互联网电子商务的三堆产品展示领域是这一技术目前的发展趋势之一.该文介绍了Web3D技术的发展概况及国内几种主要Web3D技术的特点,对Web3D技术在产品演示方面的应用进行KJ法分析,以Flash3D技术为例讨论网络三维交互式产品演示的实现模式,并提供技术及设计思路.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

数字水印技术及其在电子政务信息安全中的应用

数字水印作为一种将特定的数字信息嵌入到图像、音频、视频或软件等各种数字产品中,以达到版权保护和信息安全等目的的一种全新的数字产品保护技术,已得到了广泛的研究与应用.本文较系统地分析了数字水印技术的基本原理、主要特征、分类和应用领域,并给出了一个具体的如何利用数字水印技术,确保电子政务系统中机密信息安全的实现方案,最后指出了数字水印技术今后的研究方向.     

微机械(MEMS)与微细加工技术

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势.     

MEMS兰姆波谐振器驱动的石墨烯场效应管

随着消费者对电子器件要求的提高,电子器件需要在面积不变的情况下拓展与优化功能.一个典型的案例是将压电MEMS谐振器与IC电路集成,谐振器驱动的晶体管可以表现出独特的性能.之前研究的器件基本都是基于表面波谐振器,但器件频率低,体积大,无法利用半导体工艺将二者集成在一起.为解决上述缺点,设计制作了一种由MEMS兰姆波谐振器驱动的石墨烯场效应管.借助声电流效应,MEMS谐振器产生的兰姆波将石墨烯中的载流子进行了传输,设置于声波传播路径上的一对电极可以检测出电流值,且底部的栅极可以调节电流的大小.通过仿真,预测了谐振器的工作模式,在3 GHz以内主要有A_0、S_0、S_13种工作模式.经过微加工技术得到的兰姆波谐振器电学特性与仿真吻合,且A_0、S_0、S_1这3种模式都成功驱动石墨烯产生了声电流,其中,2.9 GHz(S1模式)是已有报道中能够激发出声电流的最高频率.以S0模式激发的声电流为主要研究对象的结果表明:声电流大小与输入射频功率呈正相关性,但由于谐振器功率承载能力有限,二者表现出了非线性关系;栅极电压由于改变了石墨烯中载流子迁移率与电导率,最终成功调制了声电流的大小;兰姆波谐振器驱动石墨烯晶体管工作频率更高,体积更小,成功验证了一种新的芯片集成的方法.     

新型功能材料发电技术及其应用进展

传统的电能供给方式中占主导地位的是电磁发电技术,该技术需要消耗大量的化石能源.为了缓解能源短缺的压力、保护环境,探索新型发电技术成为趋势.在分析电磁、压电、静电等多种发电技术的基础上,总结发现复合发电技术能获得频带更宽、峰值更高的能量.随着人工智能的发展,可穿戴发电设备、物联网传感器等的自供电成为亟待解决技术的难题,采用新型功能材料发电技术是一种可行的方案.目前新材料发电技术研究处于起步阶段,未来设计和制造更高效的俘能器仍然是MEMS领域研究的热点.     

MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术

使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、旋转连续性和旋转速度等方面比较了不同旋转调制方案.根据MEMS器件的误差特性,选择了一种适合MEMS器件捷联惯导系统的旋转调制方案并自主研发了原理样机.静态和车载实验表明:旋转调制可以明显抑制MEMS器件常值误差对导航精度的影响,200s内俯仰和横滚姿态精度提高了5倍,速度和位置精度提高了近10倍.