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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 453 毫秒
1.
介绍一种在低阻P型硅衬底上用氢离子注入技术形成局部高阻硅掩膜,用电化学腐蚀选择性生长多孔硅微阵列的工艺流程。结果证明,用高阻硅掩膜选择性生长多孔硅具有很好的掩蔽效果,生成的多孔硅阵列的有序性和完整性良好。  相似文献   

2.
多孔硅的形成与理论分析   总被引:3,自引:1,他引:3  
综述了多孔硅的形成机制,并分别对用n-Si和p-Si形成多孔硅的机理进行了分析。  相似文献   

3.
更深入地分析了多孔硅形成的几种模型,对影响多孔硅形成的几个关键因素提出了新观点,描述了多孔硅的形成过程的一些特性,指出了多孔硅的应用与发展的前景。  相似文献   

4.
多孔硅及其应用研究展望   总被引:6,自引:0,他引:6  
介绍了多孔硅的形成机制、光致发光机制,并对多孔硅的应用前景作了展望。  相似文献   

5.
多孔硅及其应用研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
20世纪90年代初期人们发现的多孔硅的光致发光现象对硅被认为不可能制作可见光区光电器件的传统概念产生了巨大冲击。国际上掀起了一股多孔硅热国内也已经起步。结合作者在多孔硅方面的部分工作对多孔硅的形成机理,微观结构,发光机制和应用前景作了较详细的介绍。  相似文献   

6.
提出基于阳极腐蚀的多孔硅的形成同时包含多孔硅的形成和电抛光体硅两部分组成。把电抛光体硅的电流密度Je与总的腐蚀电流密度J的比值定义为抛光因子α。推导出了多孔硅的成长速度与腐蚀电流密度、多孔度和抛光因子α之间的关系式。在实验误差的范围内,三组文献提供的实验数据验证了本文结论的正确性。  相似文献   

7.
多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术,我们以多孔硅为牺牲层,利用多孔硅的选择性生长机理,以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点,得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构,并设计研制了一种绝热式量热传感器。  相似文献   

8.
通过简单的溶液浸泡-热分解方法成功地在氧化多孔硅的孔中沉积了纳米银粒子,形成了银/氧化多孔硅/硅的复合结构.用X射线衍射光谱(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了多孔硅上纳米银粒子的存在.  相似文献   

9.
报道了离子辐射损伤地多孔硅的形成及其发光性质的影响,硅自注入后电化学腐蚀形成多孔硅,注入剂量增加,光荧光谱强度减弱,谱峰红移,半高宽减小,如果样品被非晶化将不发光,因此,为离子注入控制多孔硅发光图形的形成提供了物理依据,制成的图形分辨率达2μm。  相似文献   

10.
采用电化学方法制备多孔硅材料,形成了Al/多孔硅/单晶硅的样品结构.Ⅰ-Ⅴ特性测量表明这一结构呈现出良好的整流特性,并观察了Ⅰ-Ⅴ特性随温度变化的关系.在多孔硅层(PSL)电导率σs和深能级瞬态谱(DLTS)的测量中发现:多孔硅的禁带中可能存在大量的缺陷态,它们将显著影响多孔硅的电学特性.  相似文献   

11.
本文采用HF-醇溶液法制备了多孔硅.实验表明,它提高了多孔硅中的游离氟离子浓度,改善了电解液与硅片的润湿性,有利于形成均匀的多孔硅;在非光照条件下,可制成N型多孔硅.  相似文献   

12.
概述了国内外硅半导体材料(多晶硅、单晶硅、硅片)的产业现状,得出国内外硅半导体材料产业、市场及技术状况的基本结论,并分析了我国硅半导体材料产业发展的机遇、存在的问题及发展的趋势.  相似文献   

13.
应用量子化学计算法和前线轨道理论研究了中型氧化硅簇体系的结构和反应性,并从该理论研究出发,对一种新型的可以高产量生长纳米硅线的实验技术,即氧化硅辅助生长方法的生长机制做了相应的探讨。初步得出了富含硅的氧化硅簇和类似SiO配比的氧化硅簇在纳米硅线的成核和生长中起到了重要作用。  相似文献   

14.
为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,研究了用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的SiNx:H作为晶体硅太阳电池的表面钝化及减反射膜对电池性能的影响,并采用不同的工艺路线制备了不同类型的电池。实验发现:同SiNx:H比较,SiNx:H/SiO2双层光学减反射结构对晶体硅太阳电池能起到更加有效的表面钝化作用,提高了太阳电池的光电转换效率。基于界面物理,提出了一种新的能带模型,解释了用不同实验方法制作的晶体硅太阳池性能的差异。  相似文献   

15.
Strained silicon as a new electro-optic material   总被引:1,自引:0,他引:1  
For decades, silicon has been the material of choice for mass fabrication of electronics. This is in contrast to photonics, where passive optical components in silicon have only recently been realized. The slow progress within silicon optoelectronics, where electronic and optical functionalities can be integrated into monolithic components based on the versatile silicon platform, is due to the limited active optical properties of silicon. Recently, however, a continuous-wave Raman silicon laser was demonstrated; if an effective modulator could also be realized in silicon, data processing and transmission could potentially be performed by all-silicon electronic and optical components. Here we have discovered that a significant linear electro-optic effect is induced in silicon by breaking the crystal symmetry. The symmetry is broken by depositing a straining layer on top of a silicon waveguide, and the induced nonlinear coefficient, chi(2) approximately 15 pm V(-1), makes it possible to realize a silicon electro-optic modulator. The strain-induced linear electro-optic effect may be used to remove a bottleneck in modern computers by replacing the electronic bus with a much faster optical alternative.  相似文献   

16.
高炉铁水硅含量预测系统   总被引:2,自引:0,他引:2  
高炉铁水中的硅含量不仅是衡量产品质量的一个重要指标,而且反映了高炉能量利用的好坏.铁水硅含量的准确预测,能够指导高炉配料和高炉冶炼操作,实现降低铁水硅含量的目的.根据硅还原的机理从热力学和动力学方程出发,经推导得出了铁水中硅含量的预测模型,并结合高炉物料平衡及热平衡计算,编制成高炉铁水硅含量的预测系统.将实际高炉的原料条件及操作参数输入系统,得到了高炉铁水硅含量的预测值.该预测值与实测值相比,误差范围小,命中率高.从而表明该预测系统在实际运用中具有可靠性.  相似文献   

17.
从理论上分析了降低铁水中硅含量的三个途径:控制硅源;降低滴落带的高度;增加炉缸渣中的氧化性.在实验室进行了降低铁水中硅含量的实验,得到了铁水中硅含量的影响因素:提高二元碱度有利于降硅;增加渣中氧化物可降低SiO2的活度有利于降硅;Al2O3和SiO2不利于降硅;冶炼时焦炭中SiO2的挥发量随温度的升高而增多,使铁水中硅含量增加;随着滴落带高度的增加,铁水中硅含量不断增加.根据实验室研究针对唐山建龙公司高炉特点提出降低铁水中硅含量的措施,降硅效果明显,铁水中硅的质量分数由原来的0.55%左右降到了0.40%左右.  相似文献   

18.
A silicon transporter in rice   总被引:19,自引:0,他引:19  
Ma JF  Tamai K  Yamaji N  Mitani N  Konishi S  Katsuhara M  Ishiguro M  Murata Y  Yano M 《Nature》2006,440(7084):688-691
Silicon is beneficial to plant growth and helps plants to overcome abiotic and biotic stresses by preventing lodging (falling over) and increasing resistance to pests and diseases, as well as other stresses. Silicon is essential for high and sustainable production of rice, but the molecular mechanism responsible for the uptake of silicon is unknown. Here we describe the Low silicon rice 1 (Lsi1) gene, which controls silicon accumulation in rice, a typical silicon-accumulating plant. This gene belongs to the aquaporin family and is constitutively expressed in the roots. Lsi1 is localized on the plasma membrane of the distal side of both exodermis and endodermis cells, where casparian strips are located. Suppression of Lsi1 expression resulted in reduced silicon uptake. Furthermore, expression of Lsi1 in Xenopus oocytes showed transport activity for silicon only. The identification of a silicon transporter provides both an insight into the silicon uptake system in plants, and a new strategy for producing crops with high resistance to multiple stresses by genetic modification of the root's silicon uptake capacity.  相似文献   

19.
振动对Zn-27Al-Si合金组织性能的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
在变质Zn-27Al-Si合金液的凝固过程中给予振动,使生长在初晶硅球表面的条状共晶硅机械碎断而成为短杆状和蠕点状,从而减少了对基体的割裂作用,使合金的力学性能得到明显提高。试验表明,在振动条件下,钠仍可牢固地吸附在硅的孪晶台阶上,从而改变了硅晶体的生长方式,使初晶硅生长成球团状。同时还分析了锌铝硅合金的结晶凝固过程及组织特点,并对变质条件下初晶硅、共晶硅的生长机理以及振动对试验合金的组织与力学性能的影响机理进行了探索。  相似文献   

20.
用电化学方法制备多孔硅   总被引:9,自引:0,他引:9  
为了深入了解多孔硅的特性,用电化学方法在双槽电解池中腐蚀形成了不同结构形貌的多孔硅层.结果发现,在本试验控制条件下,p 掺杂的硅比n 的容易腐蚀,而且孔的分布也比较均匀.轮廓仪的分析表明,电化学方法形成的多孔硅表面和内部结构比较规则,而且深度比较大,可在MEMS技术中得到广泛应用.对试验中出现的龟裂现象进行了分析,认为这是由于孔内液体挥发产生的毛细应力多孔硅氧化过程中因晶格膨胀和易位形成的应力联合作用的结果.  相似文献   

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