改进型电容压力传感器的设计

电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用，但硅杯开头对传感器的灵敏度影响较大，本文提出了一种新的硅杯开头，并通过分析计算，设计出了改进型的电容式集成压力传感器。     

绝压传感器温漂补偿及性能仿真

分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.     

硅集成压力传感器设计

主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。     

微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备

获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.     

星用高精度压力传感器设计

介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果;对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨．传感器是依据硅微压阻效应原理,采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术,将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内．传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点．     

传感器在测量空气比热容比实验中的应用

介绍了用新方法在测量空气比热容比实验中用到的两种传感器——扩散硅压力传感器和集成温度传感器的基本原理,推导了被测压强与电压的线性关系及被测温度与电流的线性关系。     

PT14系列内调整集成压力传感器

PT14系列内调整集成压力传感器,是“七五”国家重点科技攻关项目“工业过程自动控制开发研究”中“53-03敏感元件及传感器开发研究”的一个分专题。采用集成技术制造的扩散硅压力传感器,具有体积小、重量轻、精度高、便于集成化、     

双限气压监测电路的设计

本文介绍设计一种,由摩托罗拉公司的MPX系列硅压阻式压力传感器和MAX6459集成芯片构成,用于气动式钞票记数机中气压的监测。其电路简单,工作可靠,使用方便。     

一种半导体压力传感器

根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.     

高精度数字压力计的研制

扩散硅压力传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快等优点，但存在温度漂移和非线性问题，这是研制高精度数字压力计必须解决的技术难点．本文分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，利用单片微机软件实现综合补偿方程，较好地解决了压力传感器的非线性、温度补偿和零点修正．研制出的数字压力计精度达０．０５级．     

多绳摩擦提升机钢丝绳张力在线监测传感器

介绍一种新型矿用多绳摩擦提升机动态张力监测传感器,采用圆平面压力弹性膜作为变极距差动电容信号输出,传感器弹性敏感元件与转换电路休成一体化全封闭设计制造,具有良好的抗振动和抗冲击性能,适用于井下恶劣工作环境。     

一种新型火炮膛压测量传感器研究

提出一种新型压阻式超高压传感器。用金属膜片、硅油和低量程压阻敏感元件构成传感器，从而实现了利用便宜而常见的较低量程的硅压阻敏感元件构成大量程的高压传感器。给出该传感器工作原理的理论分析和主要结构参数的估算方法。按该文的原理，用２０ＭＰａ的压阻敏感元件制成了５００ＭＰａ的高压传感器的原型，其固有频率高达２４６ｋＨＺ，超过了目前同量程的其他传感器，且介绍了原型样机的标定结果，证明其原理的可行性。最后提出对这种传感器进一步开发的建议。     

扩散硅力敏器件

本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法.     

波纹膜片在CBMT极板上的应用

为了安装换能器并防止井下高温高压井液压坏CBMT（扇区水泥胶结成像测井仪）极板（探头）,其换能器密封腔设计为特殊的均压结构。密封腔盖板采用金属波纹膜片设计,密封腔内则真空填充201二甲基硅油。当井温升高和井压变化时,通过盖板金属薄膜的波纹弹性拉伸变形来达到保持密封腔内外压力平衡的目的。     

集成数字式压力仪的研制

作者采用了最新集成压力传感器,配上(3 1/2)位A/D转换器芯片及有关电子线路,构成了集成数字式压力仪。该仪器简单可靠,使用方便。1985年,在浙江省的计量研究所新农电子仪器厂,分别进行标定和鉴定,现已生产。本文将有关仪器原理,线路以及传感器特性做一简要介绍。     

基于气压计法的矿井通风阻力测定数据处理系统的程序设计

分析了传统矿井通风阻力数据处理方法的缺点,设计了一种矿井通风阻力测定数据处理系统VRDPS2.0,并应用于测定数据的处理与分析.该数据处理系统基于Visual Studio 2010开发平台,综合应用了矿井通风阻力测定技术与理论以及vb.net中数据录入、Excel Application对象、COM自动化等技术,实现...     

硅四端横向压阻式压力传感器的解析模型

用摄动法求解了硅横向压阻效应四端器件的偏微分方程.用渐近解的分析方法对所求到的解进行简化,导出了硅横向压阻效应四端压力传感器的输出电压表达式.所得公式能够定量表达输出电压与输入参量和器件几何参数的关系,所得到结果与数值解和实验结果吻合.     

刚玉晶体中铁钛离子的吸收作用及山东蓝宝石的改色途径

阐述了刚玉晶体中铁钛离子的吸收作用和山东蓝宝石颜色深、透明度低的主要原因，探讨了对其改色的途径。     

蓝宝石衬底铜抛-CMP加工技术

针对蓝宝石衬底超精密加工存在的抛光表面不稳定问题,对蓝宝石衬底铜抛-化学机械抛光(CMP)加工技术进行研究,系统探讨铜抛与CMP的抛光压力、转速和抛光时间对蓝宝石衬底表面质量及加工效率的影响.综合评价各表面质量指标,结果表明:在满足表面质量对抛光工艺要求的前提下,采用铜抛的最佳工艺参数为铜抛压力98.0 kPa,转速55 r·min^-1,铜抛时间30 min;化学机械抛光的最佳工艺参数为抛光压力215.6 kPa,转速60 r·min^-1,抛光时间120 min,由此可获得高质量、无损伤的蓝宝石衬底抛光表面.     

无阀微泵压电特性分析及性能测试

提出了一种用于微量试剂分析的压电驱动微泵模型.该微泵模型采用压电阵子驱动、硅基泵体以及聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane, PDMS）封装而成.对压电阵子振动模态进行有限元分析,得出1~4阶模态及驱动频率,使微泵容积效率为最大的应为1阶模态.通过对微泵压电 应力耦合场进行数值分析,得出微泵最佳驱动频率范围应小于1 kHz.最后,采用微系统加工方法制作出微泵模型,并对其性能进行测试.结果表明：电压为100 V(p-p)的正弦波驱动下,频率为60和200 Hz时,微泵流量最大达到34.5 μL/min,而当频率在60~600 Hz时微泵压力最大达到657 Pa,与数值分析结果相吻合.