| 一种半导体压力传感器 |
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| 引用本文： | 张为,姚素英,张生才,张维新.一种半导体压力传感器[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2005,38(10):901-903. |
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| 作者姓名： | 张为 姚素英 张生才 张维新 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院，天津大学电子信息工程学院，天津大学电子信息工程学院，天津大学电子信息工程学院 天津 300072，天津 300072，天津 300072，天津 300072 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金资助项目（033600811）. |
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| 摘 要： | 根据有限元工具ANSYS的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器——绝缘体上硅(SOI)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,SOI压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.
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| 关 键 词： | 绝缘体上硅 高温压力传感器 微机械加工 |
| 文章编号： | 0493-2137（2005）10-0901-03 |
| 收稿时间： | 2004-03-16 |
| 修稿时间： | 2004-03-162004-11-08 |
A Semiconductor Piezoresistive Pressure Sensor |
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| ZHANG Wei,YAO Su-ying,ZHANG Sheng-cai,ZHANG Wei-xin School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,Tianjin ,China.A Semiconductor Piezoresistive Pressure Sensor[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2005,38(10):901-903. |
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| Authors: | ZHANG Wei YAO Su-ying ZHANG Sheng-cai ZHANG Wei-xin School of Electronic Information Engineering Tianjin University Tianjin China |
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| Institution: | ZHANG Wei,YAO Su-ying,ZHANG Sheng-cai,ZHANG Wei-xin School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon on insulator high-temperature pressure sensor micromachining |
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