MEMS技术的发展与应用

MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响.本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用.     

MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述

介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。     

MEMS技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究已被越来越多的人所重视。介绍了MEMS的特点、特征、技术发展趋势,MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。     

基于微机电系统CAD研究分析

微机电系统（MEMS）的计算机辅助设计（CAD）是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用．本文概述了微机电系统CAD的研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作．重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则．以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化．     

微驱动器及其驱动原理

微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。     

MEMS在控制系统中的应用

微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，借助于MEMS可以实现微观对象的检测与控制以及宏观对象的分布式检测与控制。综述了基于MEMS的主动控制和传感器网络在控制系统中的应用。     

基于三维特征的微机电系统器件结构设计方法

提出了一种表面硅微器件结构设计方法，解决了目前微机电系统（MEMS）结构设计中直观性差、工艺难度大等问题．该方法将三维特征建模的设计思想运用到MEMS设计中，在建立三维特征库的基础上实现了器件结构的快速直观设计．通过三维设计软件SolidWorks的用户接口开发的应用程序不仅实现了从器件结构中自动提取掩膜版和工艺流程，而且消除了人工设计掩膜版和工艺流程的繁琐过程．应用实例表明，与传统的通过掩膜版设计MEMS器件结构的方法相比，该方法简洁、高效，更符合设计者所看即所得的思维方式．同时，SolidWorks软件作为开发MEMS辅助设计工具的基础平台，可以省去开发几何造型模块的任务，从而为新一代MEMS辅助设计工具的开发提供了新的思路．     

微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展

微光机电一体化系统简称微系统，是当今技术发展的前沿领域之一。微系统技术的发展将大大地促进许多产品或装置微型化、集成化和智能化，成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能降耗，有广阔的应用领域和市场。文章阐述了微系统研究的意义以及微系统基础研究的重要性，概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能，指出了MEMS技术是最终实现单芯片机电一体化无线收发系统的根本途径之一，介绍了用于无线通信网络的单芯片机电一体化的微系统研究进展情况。     

微机电系统表面杂质的短脉冲激光脱附机理的研究

纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力;摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的性能和使用的寿命,微执行构件与基底的粘着是导致MEMS系统失能的主要因素。粘着是由于有残余的微液体存,如水、微量的液体与微构件和基底在表面能的作用下牢固的吸附在一起,     

MEMS动态测试中频闪同步控制系统

频闪同步控制系统是微机电系统(MEMS)动态测试系统中的重要组成部分．为了满足MEMS发展对测试系统的需求，基于频闪成像技术，设计了一套频闪同步控制系统，用于采集高速运动的MEMS器件的清晰图像．系统采用虚拟仪器方式，通过软件控制波形发生器生成各类逻辑控制信号，驱动CCD摄像机、光源和图像采集卡等设备协调工作．实验表明，测量平面运动时，系统在50倍放大倍率下，可测器件运动速度达5．1m／s，测量分辨率优于180nm，测量重复性为40nm。     

浅议几种常见的水处理方法

介绍了几种常用的饮用水、纯净水以及工业和实验室用的纯水的处理方法和应用范围,阐述了膜处理的基本原理和应用.     

过采样∑-△ADC的原理及单片机实现方法

论述了过采样 Σ- ΔADC的基本原理及结构 ,分析了 Σ- Δ调制器的频域传输特性和系统的信噪比 ,给出了实现不同的 A/D转换精度必须满足的条件和用单片机实现 Σ- ΔADC的具体方法和电路 .实际使用表明 ,该方法测量结果可靠 ,具有实用价值     

微信公众平台在机床制造业中的应用研究

为了探索微信公众平台在机床制造业中的应用,介绍了微信公众平台的基本功能,对机床制造业进行了分析,对微信公众平台在机床制造业市场宣传、营销、维修中的作用进行了探讨.微信公众平台是新媒体,具有移动互联网基因,在机床制造业信息化过程中大有可为.     

终身体育的微观分析

从终身体育的微观领域着手,对终身体育的基本属性,锻炼形式及其转换、个体条件三个方面进行了深入地分析探讨,指出对终身体育微观领域研究的重要性,旨在为进一步树立个体终身体育思想,增强全民终身体育意识,为促进全民健身计划的开展注入新的活力。     

一个基于微博的局域社交网络结构和社会关系分析

选取新浪微博中标签为桂林理工大学(桂林理工大学片区)的部分注册用户关系数据,构建一个基于微博的局域社交网络,应用社会网络分析UCINET软件对该社交网络的基本结构特性、网络成员的派系、地位等做了实证分析,并通过一条微博转播的实际数据验证了分析结果的可信性.     

微纳制造、微流控及生物介观仿真

首先解释了生物介观仿真的重要性,然后简要介绍了生物介观仿真的两个基本方法,即微纳制造和微流控技术,并描述了将这两种技术应用于生物介观仿真的几个例子。鉴于生命科学中各学科领域的飞速发展,相信发展以微纳制造和微流控技术为基础的介观仿真工程对基础和应用研究都会有很大的推动。     

微动力机电系统的发展动态与展望

在阐述微动力机电系统研究意义的基础上，对其在国内外的发展动态及趋势进行了回顾，重点介绍了双区燃烧微涡轮机、微型往复式电力发生器、微转子发动机以及作者研究的微热光电动力系统．这种新型的微热光电系统具有无运动部件、热量利用效率高、制造成本低等优点．最后论述了微机电动力系统研究中面临的主要挑战，并重点总结了需要解决的一些基础问题．     

微电子机械系统的尺寸效应

针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同，阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义。研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念，讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应，提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应，为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点。     

大高宽比微型齿轮齿根弯曲应力的有限元分析

从微型机械的实际应用出发，对比传统机械的设计方法，应用有限元理论及其相关分析软件，对微型齿轮的齿根弯曲应力进行计算及分析，并对分析结果进行图像处理，可视化地观察齿轮有限元分析单元的应力状况、位移变化，从而方便且清晰地寻找最大应力单元、判断微型齿轮受载状况。通过多次计算得出大高宽比微型齿轮所能承受的载荷范围，为微型齿轮的设计和实际应用提供了参考依据。     

电磁感应与开关电路的结合

利用电磁感应与开关电路的结合，可获得较为广泛的运用。作者对该电路的特性进行了实验测定。