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该课题由西安交通大学与英国伯明翰大学合作开展,以微型发动机、发动机用多参数集成传感器为主要内容,进行关键技术研究。微型发动机作为Power MEMS(型动力机电系统)的重要方案,在能量密度、可靠性、维护性等方面有突出优势,被认为可在部分领域替代现有常规化学电池系统。 相似文献
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为满足制造装备智能化发展对测振传感器的需求,针对常见加速度传感器在性能、成本和微型化上的不足,研制了一种基于微机电系统技术的多梁结构压阻式加速度传感器.通过将2根短小敏感梁引入传统双桥结构的方式,在提升固有频率的同时,保证了传感器仍具有较高的测量灵敏度.利用敏感梁上的最大应力和结构固有频率相乘的结果作为性能评价标准,结合梁变形理论和实际工艺条件确定了传感器的结构尺寸.采用硅材料刻蚀、硼离子注入、溅射金属铝及阳极键合等工艺,制作了传感器芯片.实验结果表明,所研制的加速度传感器能够准确测量不同频率下的加速度信号,在每g下的灵敏度达到了0.544 mV,满量程精度达到了1.76%,固有频率达到了13.61 kHz,相对于双桥结构传感器,其综合性能提升了近85%. 相似文献
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提出一种光栅投影测量物体轮廓的新系统,它对投影系统和成像系统没有严格的位置要求,新系统引入摄像机定标技术,在系统搭建时一次完成对成像系统和投影系统的参数标定.通过投影条纹图和成像条纹图的对应关系得到空间投影平面和成像直线的方程,它们的交点就是物体的空间坐标.该方法对系统结构没有平行性和垂直性的要求,也不要求成像系统光轴与投影系统光轴相交于参考面,工程上容易实现.图5,表1,参8. 相似文献
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针对在多线结构光测量系统中光平面不等距和不平行引起测量误差的问题,提出了一种基于标准三角块的误差补偿方法.通过分析测量误差产生的原因,建立了光平面平行度、光平面间距与测量误差之间关系的数学模型,将测头产生的结构光条投射到一个标准三角块斜面上,利用三角块斜面的几何变换能力将光平面平行度、光平面间距的信息转换到系统可以进行精确测量的光平面当中.通过CCD采集和数学计算,可以得到准确的各光平面平行度和光平面间距的误差数据,并根据得到的误差数据对测得的原始数据进行补偿修正,由实验证明了该方法在对阵列式多线结构光测头结构误差补偿后,测量得到的数据精度可以提高约40%. 相似文献
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提出了一种表面硅微器件结构设计方法,解决了目前微机电系统(MEMS)结构设计中直观性差、工艺难度大等问题.该方法将三维特征建模的设计思想运用到MEMS设计中,在建立三维特征库的基础上实现了器件结构的快速直观设计.通过三维设计软件SolidWorks的用户接口开发的应用程序不仅实现了从器件结构中自动提取掩膜版和工艺流程,而且消除了人工设计掩膜版和工艺流程的繁琐过程.应用实例表明,与传统的通过掩膜版设计MEMS器件结构的方法相比,该方法简洁、高效,更符合设计者所看即所得的思维方式.同时,SolidWorks软件作为开发MEMS辅助设计工具的基础平台,可以省去开发几何造型模块的任务,从而为新一代MEMS辅助设计工具的开发提供了新的思路. 相似文献
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在分析线结构光扫描点云数据特点的基础上,讨论了针对测量点云数据精简算法,包括测量基面数据精简和基于弦高-角度偏差准则的数据精简算法.介绍了散乱数据的基于Delaunay三角剖分优化准则和Liang提出的相邻扫描线之间的三角网格构建方法,并在此基础上提出了一种改进方法,基于优化准则的线结构光扫描点云数据三角剖分算法,该算法符合Delaunay的三角最优剖分.以摩托车后视镜点云数据为例的实验结果表明该方法是有效的和切实可行的.图12,参11. 相似文献
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为了解决杂波仿真中长期存在的精度和实时性之间的矛盾,提出了一种新的杂波仿真模型,即将杂波计算公式中的参数分类,把计算量较大的面积单元事先存储,实时构造最大飞行速度下的杂波功率谱,然后采用数据抽取技术,得到当前速度下的杂波功率谱,用这种方法实现了高精度下的实时性(不考虑反射系数带来的误差),此方法适合于主动雷达导引头及全弹的闭环实时仿真实验,也可推广到多距离门的机载脉冲多普勒雷达仿真。 相似文献
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脉冲多普勒雷达杂波信号的实时重构方法研究 总被引:4,自引:0,他引:4
针对脉冲多普勒雷达信号处理机在杂波半实物仿真时由重构算法带来的噪声应低于主瓣杂波60dB这一特殊要求,提出了一种给定功率谱的杂波产生方法,即先将功率谱转换为矢量频谱,并进行相位随化和傅里叶反变换,然后对得到的一系列时域数据组加窗,搭接,保证随机数据的数学期望和方差边疆,从而得到缓变的非平衡杂波信号,仿真结果表明,采用此方法得到的杂波信号与简单组合时域数据组得到的杂波信号相比,信噪比可由30dB提高到60dB。 相似文献
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倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4 kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求. 相似文献