| 含纳米硅粒氧化硅薄膜的光致发光和光吸收研究 |
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| 引用本文： | 马书懿.含纳米硅粒氧化硅薄膜的光致发光和光吸收研究[J].西北师范大学学报,2003,39(4):42-43,46. |
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| 作者姓名： | 马书懿 |
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| 作者单位： | 西北师范大学物理与电子工程学院 甘肃兰州 730070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60276015)，甘肃省自然科学基金资助项目(ZS021 A25 031 C)，西北师范大学二期科技创新工程资助项目(NWNU KJCXGC 214) |
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| 摘 要： | 采用磁控共溅射法制备了含纳米硅粒尺寸不同的氧化硅薄膜。对各种样品测量了光致发光谱，其发光峰住位于655—665nm。通过对样品所作的光吸收测量，确定出了样品中纳米硅粒的光学带隙，并发现光致发光峰位随光学带隙的增加有微小红移。
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| 关 键 词： | 纳米硅粒 光致发光 光吸收 |
| 文章编号： | 1001-988X(2003)04-0042-02 |
Study of photoluminescence and optical absorption from silicon oxide films embedded nanometer silicon particles |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanometer silicon particle photoluminescence optical absorption |
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