| 溶胶凝胶法制备ZnO薄膜及性质研究 |
| |
| 引用本文： | 兰伟,朋兴平,刘雪芹,何志巍,王印月.溶胶凝胶法制备ZnO薄膜及性质研究[J].兰州大学学报(自然科学版),2006,42(1):67-71. |
| |
| 作者姓名： | 兰伟 朋兴平 刘雪芹 何志巍 王印月 |
| |
| 作者单位： | 兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000 |
| |
| 摘 要： | 以二水醋酸锌为原料,使用溶胶凝胶法在(100)Si衬底上旋转涂敷得到ZnO薄膜.采用傅立叶变换红外光谱和X射线衍射(XRD)分析经N2、空气、O2不同气氛400℃退火ZnO薄膜的成分和结构差异.使用XRD、原子力显微镜和光致发光手段重点研究了N2气氛条件下,ZnO薄膜结构与发光特性随退火温度的变化规律,发现400℃下退火更适于干凝胶薄膜经历结构弛豫,生成具有(002)择优取向、性质优良的纳米晶ZnO薄膜.计算该样品的晶粒尺寸为41.6 nm,晶格常数a=0.325 3 nm,c=0.521 nm,其PL光谱出现495 nm附近强的绿光发射峰,可能源于ZnO纳米晶粒表面缺陷氧空位(Vo).随着退火温度升高,ZnO生成量减少、晶粒体表面积比(S/V)减小共同作用导致绿光峰强度变弱.
|
| 关 键 词： | ZnO薄膜 退火 光致发光 溶胶凝胶 |
| 文章编号： | 0455-2059（2006）01-0067-05 |
| 收稿时间： | 2004-10-25 |
| 修稿时间： | 2004-10-25 |
Preparation and properties of sol-gel ZnO thin films |
| |
| LAN Wei,PENG Xing-ping,LIU Xue-qin,HE Zhi-wei,WANG Yin-yue.Preparation and properties of sol-gel ZnO thin films[J].Journal of Lanzhou University(Natural Science),2006,42(1):67-71. |
| |
| Authors: | LAN Wei PENG Xing-ping LIU Xue-qin HE Zhi-wei WANG Yin-yue |
| |
| Institution: | School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ZnO thin films annealing photoluminescence sol-gel |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
