基于Cu和TiN盖层的Hf0.5Zr0.5O2薄膜铁电性能比较研究

该文采用原子层沉积在Si/SiO2/TiN基底上制备了20 nm Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)薄膜，并分别以TiN和Cu为盖层构筑了HZO铁电电容器掠入射X射线衍射测试表明，TiN和Cu作为盖层的HZO薄膜都具有明显的正交相系统比较研究了Cu和TiN盖层对HZO薄膜的铁电、漏电和可靠性的影响极化 电压测试表明，TiN和Cu为盖层的HZO薄膜在±4 V扫描电压下，剩余极化强度 (2Pr) 值分别为40.4 μC/cm2和21.2 μC/cm2相应的矫顽电压分别为+1.7 V和+2.0 V极化疲劳与保持特性测试表明，在经过2.3×108循环次数后，以TiN和Cu为盖层的HZO薄膜的2Pr值分别衰减了39.7%和45.6%经过1.3×104 s保持测试，TiN和Cu盖层的HZO薄膜的2Pr值从初始34.4 μC/cm2和17.1 μC/cm2分别下降到了22.6 μC/cm2和1.6 μC/cm2上述结果说明，金属盖层是影响HZO铁电性的一个非常重要的因素盖层的功函数、热膨胀系数、界面缺陷和界面介电层都是导致HZO薄膜铁电性差异的可能机制该文工作对于进一步理解HZO铁电性起源和影响机制提供了有意义的借鉴，将有助于发展未来高性能的HZO铁电存储器和负电容晶体管     

大尺寸单晶金刚石同质连接技术

介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。     

喷射共沉积6066Al/SiCp复合材料热处理塑性变化机理分析

研究了T6热处理对6066Al/SiCp复合材料材料力学性能的影响,结果表明,复合材料经530℃固溶1 h后,170℃时效8 h达到峰时效,其抗拉强度达418.6 MPa;复合材料延伸率随时效时间的增加不断降低.     

浅谈天山北坡河流泥石流灾害防治

位于新疆天山北坡河流多发源于高山古冰川区,到中山地带切入基岩,水流湍急,多石滩跌水,出山口以下河道坡度变缓,形成冲积扇,目前河水在冲积扇中迂回摆动,下切为深槽,两岸为多级台地地形,个别地段台地多达13级,相对高度在200～400米,冲沟十分发育,植被条件极差,泥石流灾害频繁发生.本文就奎屯河流域近十多年来在治理泥石流灾害方面所采取的工程性措施做简要介绍.     

河道电磁波三角高程测量中大气折光系数的变化与分析

通过对滹沱河河道电磁波三角高程测量中K值(大气折光系数)变化的分析，总结出该地区K值的变化规律，并提出三角高程测量中应注意的问题。     

马庄煤矿探找山西组9煤的实践研究

马庄煤矿煤炭资源日益枯竭,濒临停产关闭,通过探找煤以扩大资源储量迫在眉睫。依据勘探、补勘和几十年的生产实践地质资料,对山西组煤系的沉积环境与煤层的形成条件进行了深入的研究,掌握了煤层的沉积特征和聚煤模式,采用钻探和巷探,确定了井田北翼山西组9煤的可采范围,新增加资源储量101.0万吨,具有良好的经济效益和社会效益。     

反应气压对生长金刚石膜的影响

实验以CH3CH2OH和H2 为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响.     

The Response of Debris-Flow Events to Solar Proton Flares （Ⅰ）

By analyzing the observation data from Dongchuan Debris Flow Observation and Research Station and historical data from year 1965 to 1990 gotten from National Astronomical Ob-servatories/Yunnan Observatory,the responding of debris flow in Jiangjia Ravine to Solar Proton Flare is studied. The following conclusion can be drawn. Solar Proton Flare,as one of most im-portant astronomical factors,affects the activity of debris flow in Yunnan. Generally,from 1965 to1990,the more active Solar Pro-ton Flare is,the greater the probability of high frequency and large runoff of debris flow is. On the contrary,the less active Solar Pro-ton Flare is,the greater the probability of low frequency,small runoff,and low sediment transport of debris flow is.     

浅谈小区绿化河道水灌溉的工艺及经济性

最近开发11.8万平方米左右的住宅小区,其绿地率为35%,小区中问有一个规划河,本文就以此为例,通过对利用"市政给水灌溉"与"河道水灌溉"的前期建设和后期经济效果的分析比较,简单谈谈河道水灌溉的工艺及经济性.