微桥量热计测量铝薄膜热容

用表面硅微加工工艺研制了一种用于薄膜热容测量的新型微桥量热计，热性能测试与分析表明，微桥量热计温度响应快，温度均匀性较好，采用脉冲量热法，通过测量量热计的热功耗、瞬态温度以及稳态热功耗，可计算量热计和样品薄膜的热容．在真空中300～420K测量了40～1150nm厚的Al薄膜热容，并测量了样品的贡量，获得了样品的比热容，1150nm厚的Al薄膜比热容与Al体材料比热容的文献值吻合较好．随着厚度的减小，Al薄膜的比热容增强，这种现象在高温时更为显著．     

UFPA器件微桥腐蚀工艺的研究

利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300 μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深度为260 μm,桥面宽度为2 mm的微桥结构.该装置能有效保护硅基片正面免受腐蚀液的漏蚀,从而可实施热释电薄膜的沉积先于微桥制备的技术线路,对提高器件的成品率具有重要的意义.     

基于非晶硅的红外焦平面阵列微桥结构的研究

近年来,集成非制冷红外焦平面阵列技术的发展和应用成为国内外研究的热点。本文从红外材料的确定,探测结构的选择入手,通过大量的流片实验,对基于非晶硅的非制冷红外探测微桥结构制作工艺进行了系统的研究,得到一套合适的工艺参数,并成功制作出160×120规模的微桥结构阵列。     

W-型槽铌超短微桥

本文提出了一种新颖的超导铌微桥结构,利用简单的工艺作出了桥区小于1μ的超短铌微桥、在4.2K下观测到极好的超短桥电特性。     

热激励微梁谐振器的温度分布和谐振振幅

对热激励微梁谐振器的结构进行了合理的简化，用解析方法求出了交变热源激励的微悬臂梁和微桥谐振器的温度分布：在激励点附近，交变温度的幅度最大；远离激励点时，幅度趋于0。其于该温度分布，推导出了在“热膨胀效应”作用下微桥谐振器的谐振振幅。该计算方法利用振型函数来计算谐振时桥长度的伸长量，并考虑了内应力对振幅的影响。     

微机械桥型压控振荡器

设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器. 通过调节压敏电桥的桥压, 改变桥的平均温升和轴向应变, 可调节压控振荡器的中心频率. 理论计算和实验结果表明, 输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系. 对所测试的器件, 其线性度为0.16%, 振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15%.     

一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探

设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器，其核心部分是一个电热激励／压敏电桥拾振的硅／二氧化微桥谐振器或微桥谐振器阵列，通过调节施加在压敏电桥上的电压大小来改变桥的平均温度和轴向应变，可调节滤波器的中心频率，理论研究表明：中心频率与电桥电压的平方成线性关系，中心频率的可调节范围可通过减小梁的宽度和压敏电桥的电阻来扩展，所制作的滤波器其频率可调节范围达5．45％，品质因数达8000以上。