| 一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探 |
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| 引用本文： | 韩建强,朱长纯,袁寿财,刘君华,卢文科.一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探[J].西安交通大学学报,2003,37(2):136-138. |
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| 作者姓名： | 韩建强 朱长纯 袁寿财 刘君华 卢文科 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子与信息工程学院,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60036016,60176020). |
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| 摘 要： | 设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器，其核心部分是一个电热激励／压敏电桥拾振的硅／二氧化微桥谐振器或微桥谐振器阵列，通过调节施加在压敏电桥上的电压大小来改变桥的平均温度和轴向应变，可调节滤波器的中心频率，理论研究表明：中心频率与电桥电压的平方成线性关系，中心频率的可调节范围可通过减小梁的宽度和压敏电桥的电阻来扩展，所制作的滤波器其频率可调节范围达5．45％，品质因数达8000以上。
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| 关 键 词： | 中心频率 高Q值微机械带通滤波器 微桥阵列 轴向应变 微桥谐振器 滤波原理 |
| 文章编号： | 0253-987X(2003)02-0136-03 |
| 修稿时间： | 2002年7月2日 |
Central Frequency Adjustable High Q Value Micromechanical Band-Pass Filter |
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