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1.
2.
该文采用原子层沉积在Si/SiO2/TiN基底上制备了20 nm Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)薄膜,并分别以TiN和Cu为盖层构筑了HZO铁电电容器掠入射X射线衍射测试表明,TiN和Cu作为盖层的HZO薄膜都具有明显的正交相系统比较研究了Cu和TiN盖层对HZO薄膜的铁电、漏电和可靠性的影响极化 电压测试表明,TiN和Cu为盖层的HZO薄膜在±4 V扫描电压下,剩余极化强度 (2Pr) 值分别为40.4 μC/cm2和21.2 μC/cm2相应的矫顽电压分别为+1.7 V和+2.0 V极化疲劳与保持特性测试表明,在经过2.3×108循环次数后,以TiN和Cu为盖层的HZO薄膜的2Pr值分别衰减了39.7%和45.6%经过1.3×104 s保持测试,TiN和Cu盖层的HZO薄膜的2Pr值从初始34.4 μC/cm2和17.1 μC/cm2分别下降到了22.6 μC/cm2和1.6 μC/cm2上述结果说明,金属盖层是影响HZO铁电性的一个非常重要的因素盖层的功函数、热膨胀系数、界面缺陷和界面介电层都是导致HZO薄膜铁电性差异的可能机制该文工作对于进一步理解HZO铁电性起源和影响机制提供了有意义的借鉴,将有助于发展未来高性能的HZO铁电存储器和负电容晶体管 相似文献
3.
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。 相似文献
4.
研究了T6热处理对6066Al/SiCp复合材料材料力学性能的影响,结果表明,复合材料经530℃固溶1 h后,170℃时效8 h达到峰时效,其抗拉强度达418.6 MPa;复合材料延伸率随时效时间的增加不断降低. 相似文献
5.
李伟 《黑龙江科技学院学报》2004,14(6):350-353
针对常规反馈控制器参数在对象时变情况下难以获得最优的问题,利用BP神经网络构成系统反馈控制器,通过自适应学习速率在线调整网络权值以逼近对象的逆动态模型,并利用Lyapunov方法给出了该算法的收敛的条件。将算法应用于循环水温度控制系统表明:该控制器对模型参数不依赖,能有效地适应控制对象参数的变化,系统具有较强的鲁棒性。 相似文献
6.
韩梅 《天津理工学院学报》2002,18(1):76-77
聋人工学院远程视频会议系统是专用于与美国国家聋人工学院和日本筑波短期大学进行实时通信。系统采用ISDN技术作为多媒体信息服务的基础,本文着重介绍了该系统的制定方案及其特点。 相似文献
7.
马庄煤矿煤炭资源日益枯竭,濒临停产关闭,通过探找煤以扩大资源储量迫在眉睫。依据勘探、补勘和几十年的生产实践地质资料,对山西组煤系的沉积环境与煤层的形成条件进行了深入的研究,掌握了煤层的沉积特征和聚煤模式,采用钻探和巷探,确定了井田北翼山西组9煤的可采范围,新增加资源储量101.0万吨,具有良好的经济效益和社会效益。 相似文献
8.
实验以CH3CH2OH和H2 为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响. 相似文献
9.
10.
对高浓度的再生丝素水溶液(15%~37%)在不同剪切速率下(1000s-1和2000s-1)的构象变化进行了研究,对剪切前后的溶液进行了DSC和Raman对比测试。发现经过剪切,丝素溶液更客易发生从无规线团或α-螺旋向β-折叠构象的转变,且转变的程度随所受剪切速率的增加而提高。而且当丝素浓度低于27%时对剪切不敏感;超过30%时则对剪切敏感。 相似文献