射频反应溅射纳米SnO2薄膜气敏特性研究

采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越.SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰,在200×10-6体积浓度下接近30.对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究,初步探讨了元件稳定性及其敏感机理.     

改进气敏元件温度稳定性的研究

从改进气敏元件的外围线路入手，使气敏元件的工作温度恒定．减少外界环境变化对气 敏元件性能的影响，     

CO敏感元件的研究

用α－Fｅ２Ｏ３等复合金属氧化物为材料制成一氧化碳敏感元件．其特点是：在CＯ的低浓度范围（50ppm附近）．取样电阻为１kΩ 时，灵敏度为１１．８mV／ppm；响应时间小于５s，恢复时间小于20ｓ．功耗小于0．3W．作者认为其气敏机理应是表面控制型．     

多重模压电陶瓷滤波器的研制

本文对研制陶瓷滤波器中出现的电极设计及陶瓷基片配方问题，提出经验看法．     

材料制备对H2S元件气敏特性的影响

用不同方法制备H2 S气敏元件 .将 (CH4) 5H5[H2 (WO4) 6]·H2 O重结晶热分解得到纳米WO3 材料 ,再掺杂ZnS以及Al2 O3 制得的气敏元件对微量H2 S气体具有较好的灵敏度、选择性和较快的响应恢复特性 .用X射线衍射仪分析了材料的微观结构 .     

酒敏传感器的研制

描述采用薄膜溅射系统制作以ＳｎＯ~２为主的酒敏元件。给出了对元件灵敏度、选择性、响应恢复时间、抗干扰能力及重复性等测试结果，并以酒敏元件为核心，组装了乙醇气氛浓度测报传感器。