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酒敏传感器的研制
引用本文:黄兆新,黄世震,林伟.酒敏传感器的研制[J].福州大学学报(自然科学版),1994(1):32-36.
作者姓名:黄兆新  黄世震  林伟
作者单位:福州大学气敏传感器研究所
摘    要:描述采用薄膜溅射系统制作以SnO~2为主的酒敏元件。给出了对元件灵敏度、选择性、响应恢复时间、抗干扰能力及重复性等测试结果,并以酒敏元件为核心,组装了乙醇气氛浓度测报传感器。

关 键 词:薄膜,酒敏元件,溅射,传感器

Study of Alcohol Vapour Sensors
Huang Zhaoxing,Huang Shizhen,Lin Wei.Study of Alcohol Vapour Sensors[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),1994(1):32-36.
Authors:Huang Zhaoxing  Huang Shizhen  Lin Wei
Abstract:
Keywords:thin film  alcohol vapour sensor  sputtering  sensor  
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