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利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
作者采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击,随着注入离子束流密度的变化,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶,实验发现,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同,作者还对纳米晶粒的相结构及其化学组成进行了相应的分析。 相似文献
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对离子束混合技术制备的C-SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察,比较了在相同组分的C-SiC靶材下采用不同的Ar^ 离子聂击剂量,在相同的Ar^ 离子轰击剂量下采用不同组分的C-SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征,并由二次离子质谱(SIMS)分析了C-SiC涂层的阻氢性能。结果表明,所制备C-SiC涂层的表面形貌与靶材组分以及Ar^ 离子轰击剂量有关,不同的形貌特征对涂层的阻氢性能影响不同。 相似文献
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