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本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀. 相似文献
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本文在简单介绍了国内外软基处理技术的发展情况的基础上,重点分析了我国目前最常用的几种软基处理方法,对比了各种方法的适用条件,加固原理及处理效果。为软基处理设计方案的提供了一定的参考。 相似文献
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本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀. 相似文献
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浅析常见混凝土施工中裂缝产生原因及防治措施 总被引:1,自引:1,他引:0
在房屋建筑及市政桥梁混凝土施工过程中,常因出现裂缝而严重影响工程质量,防止和控制裂缝产生是亟待解决的问题。文章对混凝土在房屋建筑及市政桥梁施工过程裂缝产生原因作了详细的分析,并提出相应的解决措施。 相似文献