大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.     

咪唑类离子液体的亲疏水性对电润湿器件性能的影响

文中研究离子液体应用于电润湿显示器件的导电流体性能. 选取极性较大的乙基咪唑为离子液体的阳离子,改变阴离子的亲疏水性,对比了几种离子液体的温度窗口、粘度等物理性质,并重点研究了离子液体亲疏水性对电润湿特性、油墨萃取、器件响应等方面的影响. 同时,在1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体的阳离子上添加羟基基团,得到具有更强亲水性的离子液体. 结果表明:亲水性高的离子液体在介电材料含氟聚合物表面的初始接触角比较大,对油墨中染料的萃取程度比疏水性离子液体弱,证明了电润湿器件更适合选取亲水性高的离子液体作为导电流体. 最后,以1-乙基-3-甲基咪唑二腈胺盐离子液体作为导电流体制备的电润湿器件得到了较佳的电学和光学响应性能.     

水溶液显影环氧乙烷光刻胶的显影条件及机理探索

光刻胶是微纳米加工领域关键的材料之一,主要用于图形转移和蚀刻过程中对基材的保护. 基于水性溶液的光刻工艺可以减少污染,是未来材料发展和工艺改进的方向之一. 本论文针对同一种光刻胶(KMPR),对比有机溶剂和碱性显影液的显影效果,得到最佳水溶液显影液 KOH显影液,探索并得到其显影的较佳浓度范围,通过实验验证和解释温度和浓度的影响.     

一种电润湿显示彩色油墨的性能研究

以Blue染料为对照，对包括Blue染料在内的5种染料进行了柱层析纯化，并采用有机溶剂正十二烷对Blue、Green、Orange、Red和Yellow 5种染料进行稀释，配制成质量分数10%的彩色油墨，测量了5种油墨的CIE色度、粘度、吸收曲线和界面间的润湿性能，最后将彩色油墨应用于自制的电润湿显示器件中，测试不同油墨的光电特性.对比研究发现Green油墨在显示器件像素中的作用效果(开口率约为50%，开关速度5 ms)与对照组Blue油墨相当，作为电润湿显示器件的彩色油墨具有深入研究价值.     

Teflon AF1600作为电润湿显示器件疏水绝缘层的可靠性研究

以800 nm厚的Teflon AF1600作为疏水绝缘层,对其电润湿分段显示器进行了初步的可靠性研究.测试样品被长时间施加正电压脉冲,观察到2种现象:(1)显微镜下像素中有黑色圈状;(2)关闭电压后,油墨不能完全铺展于像素内.结果表明,显示器在长时间工作过程中性能(反射率、对比度)发生衰减.部分绝缘层区域在回流过程中引入杂质,长期加电后介电层被击穿,造成黑色坏点的产生并扩大.实验过程中电荷进入介质层中屏蔽外界电场导致显示性能的衰减.对不同驱动波形对显示器可靠性能的影响进行了初步的探究.