| 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究 |
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| 引用本文： | 韦必明,金名亮,吴昊,窦盈莹,周国富,水玲玲.大面积光刻胶线棒涂布工艺研究[J].华南师范大学学报(自然科学版),2015,47(2):84-89. |
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| 作者姓名： | 韦必明 金名亮 吴昊 窦盈莹 周国富 水玲玲 |
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| 作者单位： | 华南师范大学华南先进光电子研究院,彩色动态电子纸显示技术研究所,广州510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(21303060);广东省自然科学基金项目(S2013010014418);教育部引进创新科研团队项目(IRT13064);广东省创新科研团队项目(2011D039) |
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| 摘 要： | 介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
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| 关 键 词： | 线棒涂布法 大面积涂布 高粘度 光刻胶 涂布工艺 |
| 收稿时间： | 2014-11-15 |
Study on Bar Coating Process for Large-Area Photoresist Coating |
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| Wei Biming
,
Jin Mingliang
,
Wu Hao
,
Dou Yingying
,
Zhou Guofu
,
Shui Lingling.Study on Bar Coating Process for Large-Area Photoresist Coating[J].Journal of South China Normal University(Natural Science Edition),2015,47(2):84-89. |
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| Authors: | Wei Biming Jin Mingliang Wu Hao Dou Yingying Zhou Guofu Shui Lingling |
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| Institution: | Wei Biming;Jin Mingliang;Wu Hao;Dou Yingying;Zhou Guofu;Shui Lingling;Institute of Electronic Paper Displays,South China Academy of Advanced Optoelectronics,South China Normal University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bar coating large area coating high viscosity photoresist coating process |
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