基于范德华异质结的多功能场效应晶体管制备及性能研究

二维材料范德华异质结的研究推动了新型电子器件的发展.最近基于此类材料的电子器件时有报道，但鲜见同时具备逻辑运算和数据存储功能的电子设备.该研究采用机械剥离等方法，设计和制作了一种基于石墨烯/六方氮化硼/二硫化钼范德华异质结的多功能半浮栅场效应晶体管.研究发现，在单个器件构型中同时成功地实现了场效应管、半浮栅场效应管和二极管功能.而且电学测试结果进一步表明：作为经典的晶体管，它可以用于逻辑运算；作为半浮栅场效应管可用于非易失性存储器，而且保留时间可达10年以上，且其开/关比可达10³;作为二极管用于整流，其整流比可达10³.因此，本工作制备的多功能半浮栅场效应管有望在逻辑运算、数据储存和整流器开关等方面得到广泛应用.