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复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试 总被引:4,自引:0,他引:4
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题,引入了复合热释电薄膜的概念.它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点,有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散.利用溶胶-凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器,在温度为420K、频率为10Hz时,电压响应率约为1400V/W,探测器的星探测率D 相似文献
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高密度硬磁盘用小型压电致动器 总被引:1,自引:0,他引:1
利用宽度弯曲振动模式,制成了平面分割电极型片状压电致动器,分析,测试了致动器的位移-驱动电压特性和谐振频率,典型结果是12V驱动电压下可获得0.46μm的位移量,谐振频率为10.7kHz,满足该指标的致动器可用于制作高密度硬磁盘磁头定位两级伺服系统的第2级精定位致动器。 相似文献
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