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高压加速辉光放电离子阵鞘层离子轰击靶阴极的蒙特卡罗模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
李百贵 《河北大学学报(自然科学版)》1997,(1)
用蒙特卡罗方法模拟计算了辉光放电中脉冲加速离子阵鞘层N+1,N+2离子到达靶阴极表面的能量分布和入射角分布。研究了靶室不同气压和不同温度下能量分布和入射角分布的变化 相似文献
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