基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列

为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、释放以及键合完成基于PDMS微电极制作.其中,微电极绝缘层制作和电极位点暴露采用浇注PDMS并结合外力夹压固化和PDMS湿法刻蚀来实现.使用该方法制作的PDMS电极,结构稳定、可靠性好,具有良好的贴附性.同时,通过SEM和阻抗测试对所制作的微电极进行了表面形貌和电学性能的测试和评价.结果显示,相对于传统方法制作的PDMS微电极,电化学阻抗降低了近60%（频率1 kHz处）,基于该方法制作的PDMS微电极在力学和电学性能方面均具明显优势.     

聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化

对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了微电极稳定性,使之适于长期植入.优化后微电极的电极金属层牢固且具有较低的界面阻抗(43 kΩ),比处理前降低了25.4%,误差减小了约4/5,具有良好的实用性.