含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化

针对含大规模输入输出端口的MEMS结构,提出分块叠加Arnoldi方法提取其宏模型,针对MEMS器件中广泛存在几何形状相同而初始方位不同的结构,采用矩阵坐标变换实现宏模型的角度参数化,解决宏模型的重复提取问题。最后,结合一种微型可编程光栅的设计验证了宏模型的效率与精度,与有限元仿真结果进行比较,基于宏模型的MEMS器件系统级仿真结果相对误差小于2%,时域仿真速度提高了45倍。     

粘附和根切对模态局部化加速度计的影响

为研究基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺对模态局部化加速度计的影响,通过分析释放和刻蚀工艺对模态局部化加速度计结构的影响以及对加速度计幅频特性和初始工作点的影响研究了粘附和根切对模态局部化加速度计的影响。结果表明：释放氧化层时由于液体张力的存在极易使得器件层与基底层发生粘附,导致器件失效;根切会导致谐振器之间的质量差异,从而导致加速度计初始幅值比较大的漂移,增加了信号检测的难度。可见基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺会增加模态局部化加速度计传感器的不确定性。     

一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术

采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实现“自顶向下”设计,进行器件版图编辑、掩膜板设计提供了一种有效的途径.