| 一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术 |
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| 引用本文： | 谢建兵,苑伟政,常洪龙,徐景辉.一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术[J].科学技术与工程,2006,6(13):1955-19581962. |
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| 作者姓名： | 谢建兵 苑伟政 常洪龙 徐景辉 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 863/MEMS重大专项（2005AA404240）资助 |
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| 摘 要： | 采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实现“自顶向下”设计,进行器件版图编辑、掩膜板设计提供了一种有效的途径.
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| 关 键 词： | 自顶向下设计 接口技术 系统级 版图 |
| 文章编号： | 1671-1815（2006）13-1955-05 |
| 收稿时间： | 2006-02-20 |
| 修稿时间： | 2006年2月20日 |
Interface Technology of MEMS CAD System Level Design with a Standard Layout Output |
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| XIE Jianbing,YUAN Weizheng,CHANG Honglong,XU Jinghui.Interface Technology of MEMS CAD System Level Design with a Standard Layout Output[J].Science Technology and Engineering,2006,6(13):1955-19581962. |
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| Authors: | XIE Jianbing YUAN Weizheng CHANG Honglong XU Jinghui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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