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1.
生长模式控制对MOCVD生长GaN性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用MOCVD以Al2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用X射线双晶衍射、电化学CV技术对GaN的结晶性能和电学性能进行了表征.研究表明,GaN的生长模式对其电学性能和结晶性能影响很大.在高温GaN生长初期,适当延长GaN的三维生长时间,能明显改善GaN薄膜的结晶性能,降低薄膜的缺陷密度和本底载流子浓度,使GaN质量明显提高.  相似文献   
2.
采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜,并利用SEM和X射线衍射方法对金刚石膜进行了研究.  相似文献   
3.
采用LP-MOCVD技术在n-GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片.相关研究表明退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度有重要影响.与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5 6×1018cm-3增大到6 5×1018cm-3,p型AlGaInP层的空穴浓度由6 0×1017cm-3增大到1 1×1018cm-3.这可能是由于退火破坏了Mg-H复合体,恢复了Mg受主的活性导致的.  相似文献   
4.
简式PCM制遥控讯号和常规PCM制不同。它不象常规的那样发送一串表征讯号电平的脉冲代码讯号,而是发送表征代码的脉冲作为遥控讯号,脉冲数对应于每个遥控动作(对象)代码的权位,并由数字电路形成之。 本文讨论这种简式PCM遥控的工作原理和电路的逻辑结构。系统的容量也加以讨论。  相似文献   
5.
采用MOCVD生长技术以Al2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用霍尔测量技术、光致发光技术以及光学显微镜测量了GaN的电学性能、光学性能以及表面形貌.研究表明,GaN低温缓冲层生长之前的氮化衬底工艺对GaN外延层表面形貌、发光性能、电学性能有显著影响.合适的氮化衬底条件可得到表面形貌、发光性能和电学性能均较好的GaN外延膜.研究表明长时间氮化衬底使GaN外延膜表面粗糙的原因可能是由于氮化衬底影响了后续高温GaN的生长模式,促使GaN三维生长所导致的.  相似文献   
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