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1
1.
新型微机电系统光开关研制
总被引：1，自引：0，他引：1
贾书海
赵小林
杨春生
张琛
蔡炳初
冯建智
《上海交通大学学报》
2003,37(9):1468-1471
介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.
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