| 新型微机电系统光开关研制 |
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| 引用本文： | 贾书海,赵小林,杨春生,张琛,蔡炳初,冯建智.新型微机电系统光开关研制[J].上海交通大学学报,2003,37(9):1468-1471. |
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| 作者姓名： | 贾书海 赵小林 杨春生 张琛 蔡炳初 冯建智 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳米技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 上海市光科技启动计划资助项目(012261012)，中国博士后基金(B3180A) |
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| 摘 要： | 介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.
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| 关 键 词： | 光纤通信 光开关 微机电系统 微电磁驱动器 |
| 文章编号： | 1006-2467(2003)09-1468-04 |
Development of the Novel Micro-Electro-Mechanical System Optical Switches |
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| JIA Shu-hai,ZHAO Xiao-lin,YANG Chun-sheng
ZHANG Chen,CAT Bing-chu,FENG Jian-zhi.Development of the Novel Micro-Electro-Mechanical System Optical Switches[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2003,37(9):1468-1471. |
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| Authors: | JIA Shu-hai ZHAO Xiao-lin YANG Chun-sheng
ZHANG Chen CAT Bing-chu FENG Jian-zhi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical fiber communication optical fiber switch micro-electro-mechanical system (MEMS) electromagnetic micro actuator |
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