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复合氧化物SrTiO3—TiO2氧敏材料的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
将具有氧敏特性的SrTiO3与TiO2复合化,采用电子束蒸发方法,制备了SrTiO2-TiO2薄膜,研究了其氧敏特性。实验结果表明,复合氧化物SrTiO3-TiO2薄膜的n-p型转换点比SrTiO3薄膜的n-p型转换点高,氧敏特性有所改善,从而提高了贫燃共氧灵敏度曲线的线性化。 相似文献
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采用电泳沉积方法,制备了SrTi1-xMgxO3-δ薄膜,研究了薄膜的氧敏特性. 相似文献
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将具有氧敏特性的SrTiO3与TiO2复合化,采用电子束蒸发方法,制备了SrTiOz-TiO2薄膜,研究了其氧敏特性。实验结果表明,复合氧化物SrTiO3-TiO2薄膜的n-p型转换点比SrTiO3薄膜的n-p型转换点高,氧敏特性有所改善,从而提高了贫燃区氧灵敏度曲线的线性化。 相似文献
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采用真空镀膜法,在半导体晶片GaAs衬底上制备红外增透和增反光学薄膜,研究了Si滤光片对镀膜工艺的影响以及10.6μm增透膜系和10.6μm增反膜系的透射特性.结果表明,Si滤光片可以有效地消除单色仪二级以上光谱对镀膜工艺的影响,是一种理想的红外监控光的滤光片.监控光波长的修正值△λ约为原波长的2.5%~3%时,是制备该红外光学薄膜的较佳的条件. 相似文献
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采用离子束溅射法在LaAlO3(110)衬底上制备La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜,研究了载流子浓度、迁移率与温度的关系.结果表明:在375~667 K温度范围内,La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜的载流子浓度、迁移率随温度升高而增大,La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜导电机制符合小极化子模型. 相似文献
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本文报道了一种厚膜型ZrO_2氧敏元件的制备工艺,研究了该元件的氧敏特性及稳定性.实验发现,该工艺制备的氧敏元件,对氧气具有较高的灵敏度和很好的选择性,且比较稳定. 相似文献
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用真空蒸发SnO2-ZnO,获取超微粒结构的SnO2-ZnO薄膜.实验发现w(SnO2)w(ZnO)=80%20%薄膜有较低的电阻率,对乙醇有较高的敏感性,是较好的酒敏材料. 相似文献
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用真空双源法制备 Yttriastabilized zirconia( Y S Z)薄膜,研究了 Y S Z薄膜制备工艺对形貌、特性的影响.实验发现,在 600 ℃的条件下进行热处理,可形成超微晶薄膜,且晶粒细密均匀 相似文献