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以Φ3.60 mm×0.18 mm的微齿轮作为模板,先用软刻蚀技术制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模具,通过将PDMS模具黏附在石墨基片上与在PDMS模具表面喷金制备成两种不同的芯模,再采用微电铸技术成形镍微齿轮.通过对在两种不同芯模上制备的镍微齿轮的结构完整性、铸层的生长方式和物相组成进行对比,分析芯模对微电铸成形的影响.结果表明:表面喷金的PDMS芯模可以精确复制微齿轮模板的微结构.相比于在喷金的PDMS芯模上微齿轮的逐层生长,在石墨基片上微齿轮是以外延的方式生长,在微齿轮中易产生裂纹等缺陷.两种芯模上制备的镍微齿轮晶粒尺寸基本相同,但相比于将PDMS模具黏附在石墨基片上制成的芯模,在喷金的PDMS芯模上成形的镍微齿轮(200)晶面择优取向增强,(111)晶面择优取向减弱,且残余应力更小. 相似文献
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采用低密度聚乙烯(LDPE)、乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)、石蜡(PW)、硬脂酸(SA)4种粘结剂组分,考察不同SA含量、不同粉末装载量对Al2O3喂料均匀性的影响.结果表明:SA含量对喂料的粘度具有显著影响,当粘结剂配方为wLDPE∶wEVA∶wPW∶wSA=35∶35∶25∶5时,喂料混合最均匀,粉末装载量可达到58%,且流变性能良好.在热脱脂阶段,注重考查升温速率和保温时间对喂料的影响,并对初步的热脱脂工艺进行优化,最终总的脱脂时间为792min,试样没有出现缺陷,脱脂率达到99.5%. 相似文献
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